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在水中利用高密度飞秒激光对玻璃表面进行加工 署光学科学和技术工程学院，德岛大学，2-1 Minamijosanjima-cho, Tokushima 770-8506, 日本 收到： 11月13日2006/accepted ： 2007年1月29日在线出版： 29march 2007 ? ?施普林格出版社2007年 摘要 在水中，利用飞秒激光微米大小的颠簸，形成了对玻璃表面的加工。形成凹凸表面的较广泛的脉冲辐射参数，包括辐射能源和作用位置。凹凸表面，展示了各种各样的形态及大小，其形成主要受有关参数的影响。使用一种液体，即重水，它会被分项和空化气泡形成后回收，使我们能够利用高空间密度制造表面的凹凸，这是坚实的涂层利用烧蚀不可能实现的。颠簸理想的安排，在一个玻璃表面是捏造的调整处理的时间间隔较泡沫失踪的时间长，所产生的作用点是在飞秒激光脉冲附近的水/玻璃界面。 PACS 42.62.Cf; 42.70.Ce; 52.38.Mf; 78.47.+p; 79.20.Ds 1、引言 飞秒激光器是功能强大的工具，为微和纳米结构的透明材料，因为它们可以处理高空间分辨率所造成的多光子吸收，并减少热损伤，由于超短期的互动时间之间的激光脉冲和材料，以及各种物理现象造成的由特高强度的激光脉冲[ 1月11日]。飞秒激光加工正日益应用到发展的三维立体光学和射流装置[ 7 ， 8 ， 10月14日] 。作为透明材料形态的处理，是关系到热效应汽化和溶解，由于热扩散，互动与热汽柱底部，和一个在激光脉冲低能量密度的区域，这是高度敏感的不只是该制造材料的物理性质，而且也对激光辐照参数，如波长，脉宽，脉冲能量，数值孔径的聚焦光束，和作用的位置。特别是，当一个飞秒激光脉冲的作用点是近表面的透明材料，不同的作用位置，在表面形貌引起了相当大的差异。 利用飞秒激光脉冲进行典型的表面形貌的玻璃处理的重点是，更改一腔一撞时玻璃从外到内的焦点位置的变化。腔周围是一环形凸出和分散的碎片。其规模大小，碎片的数量也紧密的依赖于集中作用场。在玻璃内一碰到一个直径从几百个纳米到几个微米的，是由熔融玻璃表面与熔融玻璃产生的碎片，就会形成一个微型爆炸[ 15-20 ] 。由于一定范围的协调中心位置和辐射脉冲能量，表面熔化和内部的微爆炸发生的同时和颠簸形成的空间十分狭窄。颠簸通常在规模和结构上展示出较小的变化。 在先前的研究，我们发现，一种透明的涂料涂到玻璃表面使其形成较轻微的凸点更广泛的协调中心的立场与没有涂料涂层的玻璃相比，当涂层厚度是不够大于长度的焦点货量时，可以使玻璃减少玻璃碎片的数量 [ 19 ， 21 ] 。此外，我们发现，当涂层厚度是少于长度的焦点量时，即当涂层表面烧蚀是由一个单一的激光脉冲的作用在透明涂层和玻璃边境之间时，颠簸造成了比使用了厚厚的涂料超过了一定的范围 [ 20 ] 。从这些调查，我们相信，涂层材料在烧蚀的焦点量的数量，取决于对涂层厚度，同时影响了等离子体时所产生的烧蚀涂层屏蔽效应。因此，规模和结构所形成的凸点是可以改变的。透明涂层的方法具有劣势的空间密度的颠簸是有限的几个微米，因为消融的透明涂料。为了实现可控制的高密度的凹凸，在对透明涂料进行飞秒激光加工的时候，在有可能的情况下使用液体对透明材料进行加工，因为液体分项和气泡的形成后可以 循环使用。在水中制作复杂的结构对硅表面的飞秒激光加工已被证明[ 22-24 ] 。 在本文中，我们描述了在水形成高密度微米大小的颠簸飞秒激光加工技术。在第一节 ，我们描述了实验装置和程序。在第三节，我们描述了实验结果。我们调查了影响辐照参数的因素，包括能源和焦点的位置，形态及颠簸的大小。我们证明了，通过调整处理的时间间隔较在水/玻璃界面附近所产生的飞秒激光脉冲的泡沫的失踪的时间长[ 25-28 ]，我们可以制造出对玻璃表面形成高密度的颠簸理想的结构。在第四节，我们总结了我们的研究。 2 实验装置和程序 实验装置由一个扩增飞秒激光和光学显微镜构成，如图1所示。安装使用和我们过去的工作是一样的[ 19 ， 20 ] 。扩增的飞秒激光脉冲的产生与峰值波长800纳米， 1年期? 150财政司司长，最大重复率1千赫。照射脉冲能量E在该样本控制中性密度过滤器，并给出了该产品的能源测量之前，引入激光脉冲到光学显微镜（奥林巴斯， ix70 ）和透射光学显微镜，其中包括一名40 ×物镜（数值孔径，钠= 0.65 ） 。透射显微镜是0.69 。在加工区下观察一个惯常的负责电荷耦合器件（ CCD ）与帧速率30帧/秒传感器转换的影象。激光脉冲的焦距 z被定义为显微镜的射线沿光轴移动的距离。零位置（ z = 0 ）被定义为，形成了玻璃表面照射激光脉冲与附近的烧蚀阈值的能源结构位置。 样本的结构如图1所示。该样本准备他