重庆科创职业学院-传感器与检测技术项目式教学--项目五.ppt

任务五 液位检测 4.1电容式传感器的工作原理和结构 变极距型电容传感器 下图为变极距型电容式传感器的原理图。当传感器的εr和A为常数，初始极距为d0时，其初始电容量 为： 4.1电容式传感器的工作原理和结构 若电容器极板间距离由初始值d0缩小Δd，电容量增大ΔC，则有 由式(4-3)知传感器的输出特性C =f(d)不是线性关系，而是如图4-2所示的曲线关系。 在式(4-3)中，当 时， ，则上式可简化为： 此时C与Δd呈近似线性关系，所以变极距型电容式传感器只有在Δd/d0很小时，才有近似的线性输出。 4.1电容式传感器的工作原理和结构 ◆由式(4-4)还可以看出，在d0较小时，对于同样的 Δd变化所引起的ΔC可以增大，从而使传感器灵敏度提高。但d0过小，容易引起电容器击穿或短路。 为防止击穿或短路，极板间可采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）作介质。云母片的相对介电常数是空气的7倍，其击穿电压不小于1000 kV/mm，而空气的仅为3kV/mm。因此有了云母片，极板间起始距离可大大减小。同时传感器的输出特性的线性度得到改善。 一般变极距型电容式传感器的起始电容在20～ 30 pF之间，极板间距离在25～200μm的范围内，最大位移应小于间距的1/10，故在微位移测量中应用最广。 为消除极板的边缘效应影响,可采用如下图所示保护环. 保护环与极板具有同一电位,,就把电极板间的边缘效应移到了保护环与极板2的边缘,极板1与极板2之间的场强分布变的均匀了. 4.3 特点及应用中存在的问题 电容式传感器的特点 1．优点： ●温度稳定性好 电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微。而电阻传感器有电阻，供电后产生热量；电感式传感器有铜损、磁游和涡流损耗等，易发热产生零漂。 ●结构简单 电容式传感器结构简单，易于制造，易于保证高的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高温，强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可以承受很大的温度变化，承受高压力，高冲击，过载等；能测量超高温和低压差，也能对带磁工作进行测量。 4.3 特点及应用中存在的问题 ●动态响应好 电容式传感器带电极板间的静电引力很小(约几个 ),需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫兹的频率下工作，特别适用于动态测量。又由于其介质损耗小可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数。 4.3 特点及应用中存在的问题 ●可以实现非接触测量，具有平均效应 例如非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。 4.3 特点及应用中存在的问题 电容式传感器除了上述的优点外，还因其带电极板间的静电引力很小，所需输入力和输入能量极小，因而可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等。 可以做得很灵敏，分辨力高，能敏感0.01μm 甚至更小的位移。 由于其空气等介质损耗小，采用差动结构并接成电桥式时产生的零残极小，因此允许电路进行高倍率放大，使仪器具有很高的灵敏度。 4.3 特点及应用中存在的问题 2．缺点 ●输出阻抗高，负载能力差 电容式传感器的容量受其电极的几何尺寸等限制，一般只有几个皮法到几百皮法，使传感器的输出阻抗很高，尤其当采用音频范围内的交流电源时，输出阻抗高达 ～ Ω。因此传感器的负载能力很差，易受外界干扰影响而产生不稳定现象，严重时甚至无法工作。 4.3 特点及应用中存在的问题 ●寄生电容影响大 电容式传感器由于受结构与尺寸的限制，其初始电容量都很小(几pF到几十pF)，而连接传感器和电子线路的引线电缆电容(1～2m导线可达800pF)、电子线路的杂散电容以及传感器内极板与其周围导体构成的“寄生电容”却较大，不仅降低了传感器的灵敏度，而且这些电容（如电缆电容）常常是随机变化的，将使仪器工作很不稳定，影响测量精度。 4.3 特点及应用中存在的问题 应用中存在的问题 1．电容式传感器的等效电路 上节对各种电容传感器的特性分析，都是在纯电容的条件下进行的。这在可忽略传感器附加损耗的一般情况下也是可行的。若考虑电容传感器在高温、高湿及高频激励的条件下工作而不可忽视其附加损耗和电效应影响时，其等效电路如下图所示。 4.3 特点及应用中存在的问题 图中L包括引线电缆电感和电容式传感器本身的电感； C0为传感器本身的电容； Cp为引线电缆、所接测