电子式真空阴极弧离子镀引弧器的研制.docxVIP

电子式真空阴极弧离子镀引弧器的研制李刘合夏立芳白羽马新欣孙跃(哈尔滨工业大学材料学院哈尔滨150001)1998年9月17日收到AStudyofVacuumCathodicArcElectronicIgniterUsedinVacuumArcDepositionLiLiuhe,XiaLifang,BaiYu,MaXinxin,Sunyue(SchoolofMaterialScienceandEngineering,HarbinInstituteofTechnology,Harbin,150001)AbstractAnelectronic‘spark’igniterusedinvacuumarcdepositionwasdeveloped.Theoperatingprinci2pleandwaveprocedureswereanalyzed.Somekeyelectriccircuitsandthecharacteristicswerealsodiscussed.KeywordsVacuumcathodicarcevaporation,Ignitingunit,Electriccircuits摘要研制了电子式真空阴极弧离子镀引弧器,分析了其工作原理及工作时序,给出了它的关键部分的电路,介绍了它的离子镀引弧器的性能及特点。关键词真空阴极弧离子镀引弧器电路真空阴极弧离子镀(又称多弧离子镀)是近年来发展起来的一种离化率最高(10%～100%)、高离子能量(40～100eV)1、高效率、镀膜面积大、镀膜温度低的新型镀膜技术。它是以被镀材料为阴极,在真空中产生弧光放电,利用等离子体运行沉积镀膜的一种技术。该技术已经被应用于工业生产中。为了点燃电弧,通常采用机械式接触引弧装置。但是,由于在电弧引燃的过程中(即使是在真空中),在接触点处仍然具有很高的电流密度和很高的温度,这个温度远远高于阴极和引弧棒的熔点,在引弧棒的表面形成单个或多个小的熔池,造成引弧棒的烧损。如果引弧棒与阴极的材料不同,在引弧的瞬间会对所镀膜产生污染1。另外,在镀膜时通常加入一定流量反应气体,如果在镀膜的过程中保持电弧电流和供给气体的流量不变,则真空腔体内的真空度一般为一定值,这样所得到的镀膜成分及结构比较均匀。但是,在镀膜时,由于较复杂的原因电弧常常会自动熄灭2～4,在电弧熄灭后的一段时间内,真空腔体内的气压会在几秒内产生很大幅度的上升(特别是对于与阴极弧反应剧烈的、用量较大的气体),这就必然影响到所成膜的成分及结构,甚至再次引弧后真空度不能够回到原来的平衡状态。这就需要一个高效、快速、能够识别镀膜设备工作状态的引弧装置,这时,机械式引弧装置往往不能满足要求。基于以上原因,本文介绍了一种电子式高压脉冲引弧装置,该引弧装置具有能够自动识别主电源的工作状态,引弧时间方便可调,引弧能量可调等特点。第6期李刘合等:电子式真空阴极弧离子镀引弧器的研制471电子式真空阴极弧离子镀电源组成及引弧器工作原理试验所采用的电子式高压脉冲引弧装置的安装及所加磁场线圈见文献5。主电源采用空载电压为70V,额定电流25～300A的GXA2300型全桥硅整流式弧焊电源。引弧电源和引弧器采用共阴极接法,采用这种接法可以避免引弧信号进入主电源引起破坏。高压脉冲引弧器主要由高压脉冲电源、引弧元件及引弧电极所组成。其中引弧元件安装在圆形平面靶侧面,引弧后电弧在磁控线圈的作用下转移到阴极表面。高压脉冲引弧器的工作原理如图1所示。图中1为高压发生器;2为高压整流环节;3为储能调节电阻;4为储能环节;5为放电限流电阻;6为晶闸管;7为引弧元件;8为主电源;9为脉冲延时环节;10为脉冲触发环节;11为比较环节;12为主电源工作状态反馈环节;13为主电源保护网络。1图1高压脉冲引弧器原理图Fig11Theschematicprincipalstructuresofthearcauto2re2ignitepowersources高压脉冲引弧器的工作原理是,在主电源工作状态反馈环节的监视下,如果主电源满足引弧要求,即主电源处于等待工作状态,则高压发生器产生的交流高压,经过整流后进行储能,同时脉冲延时环节进行延时,以使得储能环节储存有足够的能量。之后通过和主电源反馈环节所得信号的比较来决定脉冲触发环节是否触发晶闸管。晶闸管一旦触发,储能环节所储存的能量通过放电限流电阻和引弧元件释放出来,在引弧元件上产生电火花,主电源在电火花的作用下,借助于电火花放电所产生的离子氛围,开始燃弧并进行镀膜。在工作过程中,如果发生熄弧,主电源工作状态反馈环节就会通知脉冲发生器立刻再次产生引弧脉冲,使得在极短的时间内重新引燃电弧。如果引弧不成功,晶闸管会由于放电的波动而自动关闭,主电源工作状态反馈环节检测到引弧不成功后会反馈给脉冲触发环节,使得触