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PART D: 洁净室运转维护 page * page * page * page * page * page * page * page * page * page * page * page * page * page * page * page * page * page * * 皮肤产生的皮屑和油脂 化妆品和香水 唾沫 衣服碎片 (棉绒、 纤维等) 头发 二、人员产生 PART D: 洁净室运转维护 * 摩擦产生物和包装产生尘粒 润滑物和喷射物 机械震动 扫帚，拖把和除尘器 净化室禁止施工：钻孔，打磨，焊接，着色，喷雾作业等等 三、工具产生 PART D: 洁净室运转维护 * 空气漂浮物 细菌, 有机物和水蒸气 地板抛光剂和涂料 化学清洁药品 增塑剂 除离子水 四、流体物 PART D: 洁净室运转维护 * 硅片 石英碎片 无尘室材料产生碎片 铝制品产生残存物 五、产品产生 PART D: 洁净室运转维护 * 无尘室脏污控制的关键要素 PART D: 洁净室运转维护 * 综合考虑多方面因素，有利于整个脏污控制计划做得更好，当我们 提供一份高效脏污控制项目时，有以下项目需要考虑到。 无尘室污染控制的关键要素 PART D: 洁净室运转维护 * HEPA（高效空气过滤器） HEPA 在脏污控制的维护上是非常重要的，对于直径大于0.3um 的尘粒的过滤效率可以达到99.97% 过滤器 除了HEPA 过滤器广泛地用于无尘室外，还有很多其它类型的过滤器 用于从气体和液体中除去尘粒，这些过滤器都是提供高效率脏污控制 的基础。 PART D: 洁净室运转维护 洁净室脏污控制的关键要素 * 无尘服 在无尘室中不同位置间移动也需要无尘服穿着发生变化，知道无尘室管理的工衣需求是非常重要的，手套、口罩、头罩在几乎每个无尘室环境中都是标准着装。 无尘室用具 椅子、工作台、推车、抹布、粘尘垫、文件夹、胶带、拖把、清洁剂等等。 PART D: 洁净室运转维护 洁净室污染控制的关键要素 * 洁净室脏污控制的关键要素 测量与仪器 一些与脏污控制相关的重要测量，如尘粒数、空气流动速度、湿度、温度、表面洁净度，无尘室管理人员通常应配备测量仪器去测量这些重要项目。 静电放电（ESD） 两个物体表面接触就会产生静电放电，空气的移动也能产生静电，人员接触后的物体表面或走过地面时能产生摩擦静电，用ESD防护材料避免ESD危害，无尘室管理人员要根据自己的个人工作经验去理解哪些条件下能出现静电和怎样去防止静电的产生。 PART D: 洁净室运转维护 * 测定洁净度的最低限度采样点数可按下表规定 　　 洁净度测试 PART D: 洁净室运转维护 * A　事先根据洁净室设计平面图涉及采样点。 B　采样口宜向上，采样速度应尽可能接近室内气流速度。 C　将空气颗粒计数器移至所要监察点的位置。按运行键开始测试，对于每个测试点，通常测两次，数据取其平均值。 D　把测试结果记录记在案。 例：如果H2测出的0.5um灰尘颗粒是200，则表示H2这个点1立方英尺 有200个大于等于0.5um 的颗粒。 测试过程 PART D: 洁净室运转维护 * 1　检测时将采样口放在距离被检过滤器表面15cm处。 2　每个过滤器测4个点，取其平均值。 3　过滤器的风速一般设计在80~120FPM（英尺每分钟）之间运行。 4　可采用TSI风速计或热球风速仪进行检测 风速测试 PART D: 洁净室运转维护 * 1、在测定室内空气温度和相对湿度之前，净化空调系统应已连续运行至少24h。对有恒温要求的场所，根据对温度和相对湿度波动范围的要求，测定宜连续进行8～48h，每次测定间隔不大于30min。 2、根据温度和相对湿度波动范围，应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定。 3、标准：湿度40~70%； 温度：22±3度 温湿度 PART D: 洁净室运转维护 ISO14644介绍 ISO 14644-2 (Required Test) Schedule of Tests to Demonstrate Continuing Compliance Test Parameter Class Maximum Time Interval Test Procedure Particle Count Test = ISO 5 6 Months ISO 14644-1 Annex A ISO 5 12 Months Air Pressure Difference All Classes 12 Months ISO 14644-1 Annex B5 Airflow All Classes 12 M