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第 卷 第 期 低 温 物 理 学 报 !
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英寸 超导薄膜的制备及特性
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田海燕! 王奉波! 雍俐培! 胡芳仁!
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赵新杰! 林德华* 郑东宁!
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重庆大学数理学院物理系!重庆 I)))II
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!中科院物理研究所超导国家实验室!北京 *)))=)
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优化了各项试验参数!运用后退火方法成功制备了 英寸 超导薄膜 为避免真
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空室污染!制备过程中先利用脉冲激光法在 基片上沉积出不含 的 前
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驱膜!然后在 !) I)d下的流动氩气氛中进行铊化后退火处理!制备的薄膜外观均匀光
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在孔洞团状颗粒以及少量针状晶粒 最佳薄膜零电阻温度 !临界电流密度
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