半导体四探针测试仪新型恒流源的开发 （一）.pdfVIP

·专题报道· 电子工业专用设备 EPE EquipmentforElectronicProductsManufacturing 半导体四探针测试仪新型 恒流源的开发 李晨山,孙以材,王伟 (河北工业大学微电子技术与材料研究所,天津300130) 摘 要:首先根据四探针测试理论,阐述了恒流源电路在四探针测试仪中的重要性,给出了对恒流 源的基本要求。然后介绍了我们在开发前期实验过的 种恒流源电路,它们分别是级联型镜象电流 2 源电路和电压 电流转换电路。最后介绍了我们实际采用的直接利用反馈运放输出恒流的电路。对 - 每种电路都给出了原理图、电流计算公式和性能分析。 关键词:四探针;恒流源;电位器;集成运放 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: TN307 A 1004-4507（2007）02-0006-04 TheDevelopmentoftheConstantCurrentSource foraFour-pointProbeInstrument LIChen-shan，SUNYi-cai，WANGWei (InstituteofMicroelectronicTechnologyandMaterials,HebeiUniversityofTechnology,Tianjin300130,China) : AbstractAtfirst,accordingtothetheoryoffour-pointprobe,theimportanceoftheconstantcurrent sourcecircuitinafour-pointprobeinstrumentisdemonstrated.Therequirementsoftheconstantcurrent sourcearelisted.Thentwocircuitshavingbeentestedbyusduringourformerdevelopingcoursearee- laborated.Theyarethecascadedmirror-imagecurrentsource,thevoltage-currenttransformingcircuit. Finally,theutilizedcircuitwithafeedbackamplifiertooutputconstantcurrentisdemonstrated.The graphsofprinciple,theformulastocalculatethecurrentandtheanalysisoftheirperformanceareallil- lustrated.Atlast,theexperienceofusissummarized. : KeywordsFour-pointprobe；Constantcurrentsource；Regulation-resistance；Operationalamplifier 1 引言 术也同时面临着新的挑战。而一台四探针测试仪必 须具有提供恒定电流的恒流源电路，恒流源的开发 如今，半导体行业不断发展，作为半导体生产工 一直是人们不断探索的一项课题。 艺中应用最为广泛的工艺监控手段之一的四探针技 根据相关理论，四探针测量中使用的注入电流 收稿日期: 2007-01-05 作者简介: 李晨山，男（1977-），硕士，主要从事半导体测量自动化和嵌入式系统应用研究。 6（