低阻nSnO2透明导电薄膜的制备及研讨.pdfVIP

．740· 中国太阳能光伏进展 张鹤仙 陈庭金朱浩月。姚朝晖夏朝凤 云南师范大学太阳能研究所云南省农村能源工程重点实验室 昆明650092 。 【摘要】 采用超声雾化喷涂工艺制备Sn02透明导电薄膜，反应溶液为SnCl4水溶液，选 用F和Sb作为掺杂元素，通过改变掺杂量、衬底温度等工艺参数，要求获得薄 膜方块电阻在10D．／o--50D．／n范围内，膜厚为100am的n型sn02薄膜，n+ 与溶液配比的关系，以及在一定掺杂条件下Sn02薄膜R／o，Voc与温度的关系。 【关键词】 Sn02透明导电薄膜超声雾化喷涂掺杂 and onThe ConductiveThinFilms n+-Sn02 StudyPreparation Transparent HexianCHEN ZHU YAOZhaohuiXIA ZHANG Tingjin Haoyue Chaofeng Solar Research ProvincialRenewable Energy Institute，Yunnan EnergyEngineeringKeyLaboratory， YunnanNormal 650092China University，Kunming 0引言 为使太阳电池发电成本与常规能源竞争，当前的主要任务仍是提高太阳电池的转换效率 和降低制造成本。在降低太阳电池成本的研究中，除电池材料是主要因素外，制造设备简单、 价格低廉以及制造工艺简单也是很重要的。根据对太阳电池的长期研究，我们从理论上优化 换效率高，工艺流程简单等特点，是很好的新型太阳电池。 Sn02透明导电薄膜不仅在新型太阳电池的研究中有重要的意义而且对于介电材料、电极 已广泛的应用于平板显示、气敏测试、电热涂层、太阳电池、静电防护、防霜防雾、透明电 极、液晶显示、玻璃及玻璃器皿的表面保护等领域口讪J。常见的Sn02透明导电薄膜的制备工 艺有：喷涂、化学气象沉积、磁控溅射、真空蒸发、溶胶一凝胶技术，阳极氧化和等离子阳 极反应等【7~101。其中喷涂法具有设备简单、沉积速率高、反应物相对廉价和易实现大面积沉 }基金项目：云南省自然科学基金(2002E0037Mo 基础研究、新材料及新概念太阳电池 ·741· 积等优点，该方法是把反应物喷涂在加热的衬底上，经热分解形成一定厚度的薄膜。在此， 我们是采用超声增强雾化，然后喷涂液由气体携带喷洒在加热的衬底上，制备Sn02透明导 mV。 型简并半导体，且同型异质结n+-Sn02／n-Si的开路电压Voc≥350 1 SnO：薄膜成膜原理 ，我们采用超声雾化喷涂法来制备Sn02薄膜，图l为超声雾化喷涂系统示意图。这种方 法是在常压喷涂工艺的基础上采用超声增强雾化的一种新工艺，在加热的衬底上，形成一定 N2或空气为携带气体。反应溶液经超声雾化后有如下的热解反应： 。· SnCh+2H20Sn02-F4HCI 衬底 加热电炉 超声波雾化器 图1超声雾化喷涂系统示意图 我们知道震荡频率为1