低压化学气相沉积系统操作手册NitrideDepositionSystems.PDFVIP

低壓化學氣相沉積 系統操作手冊 Nitride Deposition Systems 機台考官 ：林溥如 （實驗室工程三館110；分機 34159） 機台管理者 ：陳許峻（實驗室工程三館228；分機 42291） TYSTAR 機型低壓化學氣相沉積系統 組成單元 1. FURNACE CONTROL(FCS-10) 2. TEMPERATURE CONTROL UNIT(TCU) 3. OPTIONAL DEVICE 4. GAS SYSTEM(MFS-460) 5. BOAT LOADER 系統架構圖 TUBE3氣體管路圖 MFC氣體流量設定範圍 N2 Backfill(N2BKFL) ：100-5000SCCM N2 Vacuum(N2VAC) ：50-1000SCCM SiH Cl (DCS) ：4-200SCCM 2 2 NH3 ：4-200SCCM Process Pressure(PRCPR) ：10-2000mTorr(20-1000SCCM) Gate Valve 緩抽設定點 0-2Torr 晶舟馬達速度設定 1-25in/min 壹、壹 、開機前檢查開機前檢查 ：： 壹壹 、、開機前檢查開機前檢查 ：： 1.檢查無塵室溫度 25℃↓ ；濕度65RH％↓＆廠務排氣是否正常 2.檢查燃燒箱是否正常 2-1.抽氣＞50pascal 2-2.冷卻水進水 ON(須與管路平行)＆開啟 N2與CDA手動閥(須與管路平行) 2-3.開啟馬達電源 2-4.檢查冷卻水流量在 75~80sccm、氮氣流量 30sccm、CDA流量 30sccm、溫 度設定於 600℃ 2-5.冷卻水異常燈亮起時請將流量閥流量閥關閉(順時針方向 )在開啟(逆時針方 流量閥流量閥 向)，即可解除 2-6.確認燃燒箱 ，此時只有低溫異常燈號(紅燈)亮起 ，其餘皆為綠燈 2-7.如有 ALARM聲響 ，可先將ALARM轉鈕 OFF 廠務抽氣 抽水馬達電源 冷卻水進水 N2 CDA （橘） （黑） N2 異常