AlGaNGaN高电子移率体管中kink效应的半验模型-物理学报.PDFVIP

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2017-12-20 发布于天津
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AlGaNGaN高电子移率体管中kink效应的半验模型-物理学报.PDF

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AlGaNGaN高电子移率体管中kink效应的半验模型-物理学报.PDF

Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 4 (2012) 047301 AlGaN/GaN kink * 1)2)† 1)2)† 1)2) 2) 2) 2) 2) 2) 1)2) 2) 1) ( , 710071 ) 2) ( , , 710071 ) ( 2011 4 10 ; 2011 6 23 ) AlGaN/GaN kink . , AlGaN/GaN kink , kink . , kink . , , kink , kink . : AlGaN/GaN, , kink , PACS: 73.40.Kp, 73.61.Ey, 78.30.Fs 1 , [11]. , kink . , AlGaN/GaN (high , SOI GaAs electron mobility transistor, HEMT) , , kink , [1] [2] , [12], GaN HEMT [3] . , kink . AlGaN/GaN AlGaN/GaN HEMT kink [4,5] . GaN HEMT , GaN kink , , kink , [6], [7] , , . , GaN HEMT AlGaN/GaN HEMT kink . . kink , , , . 2 , . , kink MOCVD Al- [8,9] , GaN/GaN . , kink . Brar [10] 1 µmGaN 20 nm Al- AlGaN/GaN HEMT GaN . Al 30%. 2 13 −2 kink , 1267 cm /V ·s 1.12 × 10 cm . . , kink ICP , 200 nm. * (973 )(: 2011CBA00606) . E-mail: xhma@ c 2012 Chin