基于脉冲分组的光剂量监控新算法.pdfVIP

第26卷第5期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．26，No．5 HIGH LASERPARTICLE 2014年5月 POWER AND BEAMS May，2014 基于脉冲分组的光剂量监控新算法+ 唐德华， 曹益平 (四川大学电子信息学院，成都6100G4) 摘要： 精确控制脉冲激光加工光剂量是保证加工产品工艺和质量的关键。在对现有的光剂量控制算 法进行分析后，提出了基于脉冲分组的光剂量监控新算法，有效提高了光剂量监测精度和反馈控制速度。设计 了光剂量监控系统，实现了脉冲激光加工光剂量实时监测及反馈控制。与Ophir公司的StarLab激光能量测 量系统相比，500个激光脉冲以内的总能量测量，本系统测量误差不超过±0．15％。对一套脉冲最大重复频率 为10kHz、单脉冲最大能量为5mJ、恒压工作下最大能量波动为±10％的脉冲激光加工系统光剂量进行了监 控实验。在本系统的监控下，可将目标光剂量为150 mJ／mm2以内的加工光剂量控制精度和重复精度分别控 制在0．90％和0．100 mJ／mm2以内，同时将光剂量反馈控制速度提高了4倍。 关键词： 脉冲激光；光剂量；实时监控；脉冲分组；能量积分 中图分类号：TN248．2 文献标志码：A doi：10．11884／HPI。PB201426．051019 半个多世纪以来，激光技术得到了迅速发展，在工业加工、科学研究、国防建设和生物医学领域应用广 泛[1]。在脉冲激光加工过程中，光剂量控制是一个不可缺少的重要环节。激光直写刻蚀细微加工、激光打孔、 激光预处理等激光加工中，光剂量关系到产品质量的稳定性、生产成本和效率口。41；光学投影曝光光刻加工中， 光剂量是影响集成电路制造工艺的重要因素之一[51；生物医学加工中，光剂量的大小直接关系到手术的成败和 患者的健康与安全[6。7L随着激光技术的发展，激光器的性能得到了很大改善，但是由于激光器预热、老化和长 时问运行等影响，脉冲激光器的单脉冲能量存在起伏，尤其是气体激光器，单脉冲能量起伏最大可达20％[5]。 即使多个脉冲加工的平滑效应能够降低光剂量起伏，但是脉冲数目的增加必将降低加工效率，增加激光器的损 耗[8。9]。因此，在相关系统的研发、装调测试以及后来的运行过程中，有必要实时监测加工系统光剂量是否达到 要求口…，并根据监测结果反馈调节激光器的电压控制器，以改善加工系统的激光器输出特性。 文献[5]提出的“逐脉冲剂量控制算法”，文献[8]提出的“单脉冲能量实时控制算法”，有效地实现了光剂量 的反馈控制。它们都需要每次对单个激光脉冲能量进行实时检测，由于单个脉冲能量为最小剂量当量，测量误 差相对多脉冲能量测量要大，特别当脉冲波动量较大时，每次测量都不可避免地会引入较大测量误差，而且在 该算法中测量误差具有累积特征，这在一定程度上影响了加工系统实际光剂量的精度；其次，由于需要对每个 脉冲进行反馈控制，需要实时干预激光器的运行状态，这在一定程度上也限制了光剂量收敛的控制速度。因此 本文提出一种基于脉冲分组的光剂量监测反馈控制新算法，可以有效提高光剂量监控精度，提高反馈控制收敛 速度，实验验证了该算法的有效性和可靠性。 1 逐脉冲剂量控制算法分析 光剂量是指在加工过程中单位加工面积上接收到的特定波长的光能量。逐脉冲剂量控制算法根据工艺要 求的光剂量和单脉冲标称能量E。，计算一次加工所需的激光脉冲数N。以每个脉冲为一份的方式将光剂量对 应的脉冲能量分成N等分，每一份能量即是单脉冲标称能量E。[5]。加工中将第一个脉冲能量期望值设置为 E。，在光路中安装一个激光脉冲能量探测器，测量每个激光脉冲的能量，通常激光器已输出的每个单脉冲能量 都与期望值存在偏差，在预设下一个脉冲能量时，需用该脉冲能量值补偿此前脉冲能量的累积偏差。再通过能 量电压转换关系将能量期望值转换为控制电压设定值日]，从而实现对激光器的控制。若第i次测量的脉冲能 量为E。，那么托(托≤N)个脉冲后的测量能量为