硅基氮化镓波长可调DFB激光器的模拟分析-激光与红外.PDF

第４４卷　 第８期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４４，Ｎｏ．８ 　 ２０１４年８月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ａｕｇｕｓｔ，２０１４ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１４）０８０８７４０５ ·激光器技术 · 硅基氮化镓波长可调 ＤＦＢ激光器的模拟分析 王永强，诸　波，胡芳仁，茅帅帅，夏丽，仉　乐 （南京邮电大学光电工程学院，江苏 南京２１００４６） 摘　要：基于严格耦合波以及介质平板波导理论，构建了硅基氮化镓分布反馈激光器的二维稳 态物理模型。且利用多物理场直接耦合分析软件ＣｏｍｓｏｌＭｕｌｔｉｐｈｙｓｉｃｓ求解波动方程，得到了 分布反馈激光器在可见光各波段形成单模输出的电场模一维、二维图谱，以及相对应的入射波 长与电场模关系曲线。结合硅基光微机电系统技术和微加工技术，本文提出利用悬空的自支 撑氮化镓周期可调光子光栅实现分布反馈激光器波长可调。数值模拟表明，在光栅的格子数 目、光栅厚度、光栅宽度以及有源层厚度一定的情况下，改变光栅周期可以实现分布反馈激光 器输出不同波长激光。理论分析与仿真结果基本一致，证明所建立激光器模型具有一定的合 理性，得出的仿真数据为实现分布反馈激光器波长可调提供了有意义的参考。 关键词：分布式反馈激光器；波长可调；ＣｏｍｓｏｌＭｕｌｔｉｐｈｙｓｉｃ；硅基光微机电系统 中图分类号：ＴＮ２４２　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１４．０８．００９ ＳｉｍｕｌａｔｉｏｎａｎａｌｙｓｉｓｏｆｓｉｌｉｃｏｎｂａｓｅｄＧａＮ ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈｔｕｎａｂｌｅＤＦＢｌａｓｅｒ ＷＡＮＧＹｏｎｇｑｉａｎｇ，ＺＨＵＢｏ，ＨＵＦａｎｇｒｅｎ，ＭＡＯＳｈｕａｉｓｈｕａｉ，ＸＩＡＬｉ，ＺＨＡＮＧＬｅ （ＮａｎｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＰｏｓｔｓａｎｄＴｅｌｅｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ，ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００４６，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｒｉｇｏｒｏｕｓｃｏｕｐｌｅｄｗａｖｅｔｈｅｏｒｙａｎｄｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃｓｌａｂｗａｖｅｇｕｉｄｅｔｈｅｏｒｙ，ａｔｗｏｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｓｔｅａｄｙ ｐｈｙｓｉｃａｌｍｏｄｅｌｉｓｃｏｎｓｔｒｕｃｔｅｄｆｏｒａｓｉｌｉｃｏｎｂａｓｅｄＧａＮｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄｆｅｅｄｂａｃｋ（ＤＦＢ）ｌａｓｅｒ．Ｔｈｅｗａｖｅｅｑｕａｔｉｏｎｉｓｓｏｌｖｅｄ ｂｙｍｕｌｔｉｐｈｙｓｉｃｓｆｉｅｌｄｃｏｕｐｌｉｎｇａｎａｌｙｓｉｓｓｏｆｔｗａｒｅＣｏｍｓｏｌＭｕｌｔｉｐｈｙｓｉｃｓ，ｏｎｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌａｎｄｔｗｏｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｅｌｅｃｔｒｉｃ ｆｉｅｌｄｍｏｄｅｓｏｆｔｈｅＤＦＢｌａｓｅｒ’ｓｓｉｎｇｌｅｍｏｄｅｏｕｔｐｕｔｉｎｖｉｓｉｂｌｅｗａｖｅｌｅｎｇｔｈｒｅｇｉｏｎｉｓｏｂｔａｉｎｅｄ，ａｎｄｔｈｅｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇｒｅ ｌａｔｉｏｎｓｈｉｐｂｅｔｗｅｅｎｔｈｅｉｎｃｉｄｅｎｔｗａｖｅｌｅｎｇｔｈａｎｄｔｈｅｅｌｅｃｔｒｉｃｆｉｅｌｄｍｏｄｅｉｓａｌｓｏｏｂｔａｉｎｅｄ．Ｃｏｍｂｉｎｅｄｗｉｔｈｓｉｌｉｃｏｎｂａｓｅｄ ｏｐｔｉｃａｌＭＥＭＳｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｎｄｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ａｗａｖｅｌｅｎｇｔｈｔｕｎａｂｌｅＧａＮＤＦＢｌａｓｅｒｗｉｔｈｓｅｌｆｓｕｐｐｏｒｔｅｄ ｇａｌｌｉｕｍｎｉｔｒｉｄｅｐｅｒｉｏｄｉｃｐｈｏｔｏｎｉｃｇｒａｔｉｎｇｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄ．Ｎｕｍｅｒｉｃａｌｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｓｈｏｗｓｔｈａｔｄｉｆｆｅｒｅｎｔｓｉｎｇｌｅｍｏｄｅｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ ｏｕｔｐ