新型高真空电离规研究.pdfVIP

新型高真空电离规 珑学虫 陶新听 成胜涛 清华大学电子工程系 北京 )00094 NewTypeHighVacuumIonizationGauge PangXuexi,TaoXinxin,ChengShengtao (DepvrnnenrofElectrcvicEngineering,Tsir妙vaUniversity,,B对ing。100094) Abstmd 如面，paper,anewytrehi沙vacuumioniaztiongaugeisbaudontheelcertostaticsaddle heldgauges，whichfeatures，。，smsllelectrodesizesandlowoutgassing/so州ionratesandverylowpower ~ 户on,andwbielralsoismotlsuitableforthepressuremeasurementinthestaticanddynamicsystem thanthetraditionalioniaztiongauges.Thefielddistributionsand血elcetrontrajectoriesmthetypicalstructures ofnewgaugesarecalculated.Thevariationofsensitivitieswiththegaugesizesand比celectricalparametersare calculated切usingMonte-Cadosimulationmethod.Finally，theresultscalculated句usingMonwCarlo simulationmethodareoompered衍山血 。甲erimentalresults. Keywords lonvationgauge,Vacuummeasurement,Monte-Carlosimulationmethod 摘要 本文介绍了一种由鞍场规发展而来的新型高真空电离规，它具有电极尺寸小、吸放气率低 锌特点，适用于静态和动态系统的压资侧t.文章给出了它的典型结构尺寸和电参数，计算了规管内的 场分布.用Moote-cado模拟方法计算了规管的电子轨迹和灵徽度:对新型电离规的样管进行了侧试，并 对规管的性能进行了讨论:最后得出了折型电离规零阪小、功耗低、线性较好、侧f范困宽的结论. 关键词 电离规 真空测量 Monte-Carla模扭卞注 1引言 传统的高真空 BA规虽然得到了广泛的应用，但由于它本身的结构特点，致使它的吸 放气比较严重，电子诱导脱附 (ESD)干扰也较大，在压强逐渐下降的测且过程中，如果 不时时除气的话，lxl护pa;生右就会出现灵敏度 异常的现象，这些都限制了BA规的应用。而由陈 王瑾等人在 fit;年代初研制的鞍场铡l,具有结构 简单，体积小、吸放气率低、功耗低和灵敏度异常 (lector 现象不明显等特点 工作时一般不用除气，不仅适 用于动态系统，而且适用于醉态系统— 密封器件 的压强测量，具有很大的发展潜力。 gAnode 鞍场规虽然结构简单，但其电极的引线比较分 onCollector 散，电极装配公差要求严格，不便于工业生产。通 过改进鞍场规的引线方式，研究降低装配公差要 求，我们发展了一种新型高真空电离规。本文将首 先给出这种新型电离规的结构模型，然后利用 f9‘! $asicstructmeofthe~ ytpe Monte-Carlo法2[)模拟计算新型电离规的灵敏度，确 ionization日a吨e 定新V电离规的结构尺寸、电参数 ，最后，对样管 新型电离规结构示惫即 768 进行了熟试，得出了有益的结果。