金属蒸发作业指导书.docVIP

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金属蒸发作业指导书

金属蒸发作业指导书 目的 规范金属蒸发台(PEVA-600E)设备操作方法、工艺要求、安全操作注意事项、保证生产作业正常安全进行。 范围 。 3.控制内容 3.1作业条件 3.1.1 产品条件:根据产品随工单内设置的工艺条件作业。 动力条件: 3.1.2.1 压缩空气(CDA):0.4-0.5Mpa 3.1.2.2 电:380V 50Hz 3.1.2.2 氮气:0.1-0.2Mpa 3.1.2.3 冷却水:1.5-2kg/cm2,20-22℃ 3.1.3 使用材料:金、镍、铝、钛。 3.1.4 使用设备:HC403 3.1.5 镀锅:所有金属蒸镀制程使用单锅自转模式。若需使用三锅自公转模式蒸发金属需通知工艺技术人员确认。 3.2 点检要求 3.2.1 日常点检:每日白班人员在上班后按照《金属蒸发日常点检表》对设备进行日常点检。 3.2.2 启动点检:设备启动、维修后按照《金属蒸发设备启动点检表》对设备进行启动点检。主要是指对真空(坩埚底座)和电子枪的维修。 3.2.3 异常处理:如果点检不符合标准,通知工艺技术人员和设备技术员。 3.2.4 晶振片寿命:当晶振片寿命降到70%时需要立即更换晶振片。 3.3 操作步骤 3.3.1 来片接收 3.3.1.1 按照《生产过程控制程序》中的“四个一致”执行。 3.3.1.2 检查来片表面有无异常,要注意检验制品表面的异常情况,包括划伤、裂纹、沾污、光刻胶表面情况、表面色泽有无异常等,发现异常时暂停流片,并通知技术员处理。 3.3.2 生产 3.3.2.1取待蒸发片并核对好蒸发工艺条件。 3.3.2.2 填写《金属蒸发原始记录表》。 3.3.2.3 生产中的异常处理 3.3.2.4 蒸发过程中要不断地观察蒸发情况,发现异常时(如坩埚偏、行星架转动不平稳、电子枪跳闸或打火、真空度不够等)通知工程师处理,作业员不得私自对异常进行处理。 3.3.2.5 设备出现异常须维修时立即通知技术员并将设备暂停。 3.3.3 蒸发工艺操作 3.3.3.1 加源:每次使用前检查坩埚内的源是否够量,约2/3坩埚。从氮气柜中取出蒸发源,加够量,用完后将蒸发源重新放回氮气柜保存。加源前需要检查源锭表面是否有杂物、颜色是否异常等,请报告技术员决定是否需要将金属源锭进行更换或清洗处理。加源时需使用专用镊子,注意源不能加的过多以免卡住坩埚,不可超过边沿,加完源还未熔源之前一定不要转动坩埚,换源锭后填写记录表3.3.3.2 装片 3.3.3.2.1注意检查电子枪电源为关闭。然后在“Process”模式下点击“VENT”或直接点击“V4”阀门,腔体开始充气。3.3.3.2.2 取下镀锅,用吸尘器吸取蒸发腔内的污染物,如果发现蒸发源的表面有脏物,取出用氮气枪吹,要特别注意吹气的方向,气流的大小,避免带来新的污染。 3.3.3.2.3将镀锅从支架上取下,小心地放置在操作台上,确定不影响装片。用吸笔将产品轻轻吸住,小心的放在镀锅上,注意要蒸发的一面朝上,然后用固定弹簧钩轻轻地压住片子;若一次蒸发超过两批,则根据投料批号的大小,从小到大装片。(注:每次装片之前检查吸笔是否,如果沾污,用酒精擦拭干净再用。)注意装片时要从内圈向外圈装片,要顺时针转动镀锅装片,以免衣袖污染;装片完成后,要检查晶片是否,有无灰尘或其它异常,若有灰尘要使用氮气枪将灰尘吹掉,吹片的时候气流不要太大,需要先试验气流的大小,再开始吹片,吹片的时候要向外吹,不能向内吹,以免污染其它晶片。 3.3.3.2.4将装好制品的镀锅,小心的装回支架,不要碰到片子。用手慢慢转动支架,检查镀锅是否放稳。再检查腔体大O型密封圈是否干净无异物。如有,用酒精将其擦拭干净,包括密封圈的接触面。3.3.3.3 抽真空 3.3.3.3.1 抽真空前蒸发台需要检查的项目: A)观察窗:保证观察窗的干净,如果表面有金属层则可使用酒精和纤维纸进行清洁,如还无法去除,则直接更换观察窗的防镀玻璃。 B)观察反射镜:两块镜片的位置需要调整到能看到整个坩埚源的情况,否则需设备人员或工艺人员调节;对镜片的清洁同上。 C)真空腔体:检查腔体内是否有金属屑等异物,如发现则用蒸发专用吸尘器进行清洁,在清洁的过程中操作要小心,避免碰到设备内部其他部件。 D)冷泵:确认冷泵温度15K。 E)坩埚:加源后坩埚,金属,金属金属如发现坩埚被源卡住,应立即点击坩埚示意图下的“ABORT”,然后点击“REVERSE”,将坩埚倒回来。金属屑,此时禁止转动坩埚,以免将金属源吸起而卡锅。 F)确认蒸发台处在Automatic(自动)状态,确认各动力条件均为正常。3.3.3.3.2 确认各项条件均满足后,缓慢的关闭腔门(注:当腔门快关上时,机台会自动将门吸过去,并关紧),“ AUTO”,此时,机械泵(MP)开启,开始粗抽,刚

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