净化厂房MAU_RCU_HEPA空调系统设计.docx

净化厂房 M AU+RCU+HEPA 空调系统设计程 康(信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司，江苏 无锡 214071)摘要： 阐述了洁净室空调的特点，介绍了目前光伏电子行业常采用的 MAU+RCU+HEPA 对系统的空气处理过程。分析计算表明由于电子行业洁净空调室冷负荷巨大，使得空调系统的换气次数很多，甚至大于室内允许含尘浓度计算得出的换气次数。对江阴地 区某电池厂房的空调系统设计进行了举例计算。关键词： 新风空调机组； 循环空调箱； 组合式空调箱； 高效送风口； 净化等级； 静压箱中图分类号： TU831文献标志码： A文章编号： 1673-7237(2013)05-0032-04AHU+RCU+HEPA Air-Condit ioning Syst em Design in Purificat ion PlantCHENG Kang(EDRI, Wuxi 214000, Jiangsu, China)Abst ract : The characteristic of air-conditioning for clean room is expounded, as well as the air processing of MAU+RCU+HEPA system which is most popular used in photovoltaic and electronic industry. Both of the analysis and result of calculation show large amount of cooling load in clean room of electronic industry causing huge number of air ventilation even more than that of purification. The air-conditioning sys － tem design of solar cells factory in Jiangyin is studied.Key w ords: Make-up Air Unit (MAU); Recycled Air Handling Unit (RCU); Air Handler Units(AHU); High Efficiency Particulater AirFilter(HEPA); purification grade; plenum chamber(2)温湿度要求精度高并且恒定。由于电子产品的制造工艺对温、湿度的变化极为敏感，所以空气参数 的波动要控制在极小的范围内，因此，自控系统如 DDC、PLC 等在洁净系统控制中有着不可忽视的作用[4]；(3)洁净室内新风量大、换气次数高。光伏、电子行 业的洁净室内有诸如烘箱之类的工艺设备，产热极大， 这些热量主要依靠工艺冷却水和工艺热排风带走，工 艺设备同时还会产生酸、碱、有机废气，需要排走，房间 内的各种大风量排风意味着需要补充大量经热湿处理 过的新风来维持室内正压。同时，为了维持房间高洁净 度就需要较多的换气次数来过滤尘埃粒子；(4)空调风系统的形式。 因洁净室不仅需要温湿 度满足要求，更重要的是使洁净区悬浮粒子颗粒数满 足要求，目前电子行业厂房内的洁净度要求根据工艺 的不同，一般设置成 ISO 5～ISO 9 级之间，对应于传统分级的百级至十万级[5]。风系统则由组合式净化空调机组和高效送风口共同来满足温度、湿度和洁净 度的要求。 空调的送风形式一般有一次回风系统、 二次回风系统、新风加干盘管系统。2MAU+RCU+HEPA 洁净空调系统图 1 为光伏行业洁净室目前最常用的MAU+ RCU+HEPA 空调系统示意图。夏季室外新风经新风 空调机组(简称 MAU，Make-up Air Unit)粗效过滤、降0引言随着科学技术与工业技术的发展，为了保证生产 产品的高精度、高纯度和高成品率，对空气的洁净度 有了很高的要求。洁净室在新兴的光伏、电子行业，在 传统的医药、精密机械、化工、食品等诸多行业都得到 了广泛的应用。电子工业洁净厂房生产环境根据其生 产工艺的特点和要求对房间内的微粒数量有严格要 求，本文仅对空气洁净技术在电子行业中的特点及应 用加以阐述。1洁净室空调系统的特点及风系统的形式电子行业洁净室在围护结构和空调系统气流组 织上都有它独有的特点：(1)气流分布要求很均匀。目前洁净室洁净度等级 共划分为 9 个级别(见表 1)，1～5 级的气流组织为单 向流或混合流，气流平均风速为 0.20～0.45 m/s，6～9 级则采用非单向流[1-2]。表 1 洁净送风量(静态)和气流流型[1,3]空气洁净度等级