课件第4部分 传感器原理2-电容式.pptVIP

* * * * * * * * * * * * 华中科技大学机械学院 测试技术与信号处理 二、电容式传感器 1.变换原理: 将被测量的变化转化为电容量变化， 实质上是一个具有可变参数的电容器。 两平行极板组成的电容器,它的电容量为: d、A 或 e 发生变化时，都会引起电容的变化。 第三章 常用传感器与敏感元件 ? A ? e — 极板间介质的相对介电系数， 在空气中为1。 式中， e 0 —真空介质介电系数，=8.85×10-12F/m d —极板间距离(m)；A —极板面积(m2)。 由此可得到传感器的灵敏度 (1)极距变化型 d d +dd 与极距平方成反比， d↓，S↑ 。 电容式传感器 如果电容器的面积和极间介质不变，极距 有一个微小变化量dd 时，引起电容的变化量dC 为 由于灵敏度随极距平方而反比变化，会引起非线性误差。为了减少此误差，通常规定在较小的间隙变化范围内工作，以便获得近似的线性关系。一般取极距变化范围约为Dd/d0 ≈0.1 。 在实际应用中，为了提高传感器的灵敏度、线性度以及克服某些外界条件 (如电源电压、环境温度等)的变化对测量精确度的影响，常常采用差动式。 优点:是可进行动态非接触式测量，对被测系统的影响小;灵敏度高，适用于较小位移 (0.01mm-数百微米)的测量。 缺点: