超光滑基片表面散射的数值研究.pdfVIP

第37卷第6期 光 学 技 术 Vo1．37No．6 2011年 l1月 OPTICALTECHNIQUE Nov． 201i 文章编号：1002～1582(2011)06—0659—05 超光滑基片表面散射的数值研究 赵云，杨开勇 (国防科学技术大学 光电科学与工程学院，湖南 长沙 410073) 摘 要：以一阶微分散射理论为基础，从理论和模拟两个方面对超光滑基片表面的散射电磁场进行了数值研究。 分析了S偏振光和P偏振光的微分散射随入射角和散射角的分布情况。研究发现，当入射角较大时，P偏振光在某个散 射方向的微分散射为0，而无论入射角和散射角如何变化，S偏振光的微分散射均大于0。当用光散射法对超光滑基片进 行表面测试时，相对于 P偏振光 ，选择 S偏振光入射可以避免在某些特定位置处散射强度为0，导致无法测量的情况；同 时，采用 S偏振光比P偏振光具有更高的光电检测效率，更适合于超光滑基片表面的测试。 关 键 词 ：光学检测；表面散射；微分散射；超光滑基片 中图分类号 ：0438 文献标识码：A Numericalstudyonsurfacescatteringof super-smooth substrate ZHAO Yun·YANGKaiyong (CollegeofOptoelectronicScienceandEngineering，NationalUniversityof DefenseTechnology，Changsha410073，Hunan，China) Abstract：First-orderperturbationtheoryisappliedtocalculatethesurfacescatteringofsubstrate．Numericalstudy isdescribedforcalculatingthea·ngle-resolvedscattering．TheresultfindsthattheopticalfactorofS-andp-polarization aredifferent，whenincidentangleislarge，thep-polarizationscatteringiszeroatcertainscatteringangle，butS-po lariza— tionscatteringisabovezerowhatevertheincidentandscatteringangleis．Ⅵ enusingthescattering methodtomeasure thesurfaceofsubstrate。s-po larizationlightiSchosentoaviodthezeroreactionofdetectoratcertainincidentandscatter一 *ingangle．Atthesametime。s-po larizationlightismoreefficientthanp-polarizationlight． Keywords：optica1measurement；surfacascattering；ang le-resolvedscattering；super-smoothsubstrate 在镀膜前对超光滑基片表面进行检测是不可或缺的 0 引 言 步骤。目前，为了满足高精度激光陀螺研制的需要， 在激光陀螺的研制生产过程中，超光滑基片是 经过超抛 的熔石英基片 的表面均方根粗糙度 制作高质量高反镜的基础，对