电子显微镜 第五章 扫描电子显微术-2.ppt

扫描电镜衬度的形成:主要利用样品表面微区特征,如形貌、原子序数、化学成分、晶体结构或位向等的差异，在电子束作用下产生不同强度的物理信号，使阴极射线管荧光屏上不同的区域呈现出不同的亮度，获得具有一定衬度的图象。 第六节 扫描电镜衬度像 1.二次电子像 形貌衬度的形成：二次电子产额强烈依赖于入射束与试样表面法线间的夹角? 。如果试样表面是凸凹不平的话，法线与入射束夹角?大的面发射的二次电子多；反之则少。 (a) ? =0° 50? r1 (b) ? =45° 50? r2 ? ? 50? r3 (c) ? =65° r3＞r2＞r1 入射电子在试样表层下50?深度内所经路程随面法线间夹角?的变化 ?B 二次电子产额 图象衬度 ?A ?C 形貌衬度形成原理 形貌衬度的影响因素 电子检测器 电子检测器 检测器 ?B 强度 ?A ?D A B C D IA IB IC ID 2.背散射电子像 成分衬度 背散射电子像的形成：样品表面上平均原子序数Z大的部位产生较强的背散射电子信号，在荧光屏上形成较亮的区域；而平均原子序数较低的部位则产生较少的背散射电子，在荧光屏上形成较暗的区域，这样就形成原子序数衬度（成分衬度）。 形貌衬度 产额 倾斜角 背散射电子和二次电子的运动路线 背散射电子和二次电子成像对比 二次电子像 背散射电子像 背散射像的获得 背散射电子探测器和信号处理 a)成分有差别， (b) 形貌有差别， (c)成分形貌都有差别 形貌无差别 成分无差别 由A和B来的信号 分离后的信号 铝合金抛光表面的背反射电子像 采用A+B方式获得的成分像 采用A-B获得的形貌像 3.扫描电镜衬度像的应用 观察断口形貌 抛光腐蚀后的金相表面的表面分析 烧结样品的表面分析 断裂过程的动态原位观察 纳米材料形貌观察 显微组织分析 铝合金韧窝断口形貌 断口形貌分析 断口形貌分析 解理台阶 断口形貌分析 碳纤维增强复合材料断口的二次电子像 金相表面观察 金相样品的二次电子像 珠光体组织 析出碳化物 断裂扩展过程原位观察 断裂过程原位观察 Al3Ti/(Al-Ti)复合材料断裂过程原位观察 纳米材料形貌观察 螺旋形碳纳米管 粉体形貌观察 钛酸铋钠粉体的六面体形貌 显微组织分析 高镍高铬奥氏体钢的显微组织 第七节 扫描电镜晶体学分析 1.通道花样形成原理 入射电子被晶体中原子点阵的散射几率并不是各向同性的。当γθB时，入射电子被背向散射(即散射角大于90°)大于前向散射(即散射角小于90°)的几率，意味着这些入射方向是不利于进入晶体的禁道；而当γθB时，入射电子的前向散射几率大于背向散射几率，意味着这些入射方向是易于进入到晶体中去的通道，这种物理现象称为电子通道效应。 〈111〉金刚石晶体所获得的电子通道花样 2.通道花样的获得 只要采用适当的扫描方式，使入射束相对于晶体表面法线的扫描角??连续改变就有可能得到通道花样。--采用角光栅扫描方式可获通道花样。 3.通道花样的指标化 W/M AC/M L 2γ 2θB W AC 样品上 图象上 4.通道花样的应用 获得晶面间距，晶体学位向等信息 分析晶体样品的形变程度 缺陷检测