电子显微镜 第二章 透射电子显微镜的主要结构与成像.ppt

* 晶格分辨本领的测定：利用外延生长的定向单晶薄膜作为标样，拍摄其晶格像。这种方法的优点是不需要知道仪器的放大倍数，因为事先可精确地知道样品晶面间距。根据仪器分辨本领高低，选择晶面间距不同的样品作标样。拍摄晶格条纹像，然后测量晶格像条纹间距，除以总的放大倍数，即为相应电子显微镜的晶格分辨本领。 * 2. 放大倍数测定 透射电子显微镜的放大倍数随样品平面高度、加速电压、透镜电流而变化。为了保持仪器放大倍数的精度，必须定期进行标定。 最常用的方法是用衍射光栅复型作为标样，在一定的条件（加速电压、透镜电流等）下，拍摄标样的放大象。然后从底片上测量光栅条纹象的平均间距，与实际光栅条纹间距之比即为仪器相应条件下的放大倍数。这种方法适用于5万倍以下。 * 也可在样品表面上放少量尺寸均匀，并精确已知球径的塑料小球作为内标准测定放大倍数。 在高放大倍数如10万倍以上的情况下，可以采用用来测定晶格分辨本领的晶体样品作标样，拍摄晶格条纹像，然后测量晶格像条纹间距，与实际晶面间距的比值即为相应条件下仪器的放大倍数。 * 第二章 透射电子显微镜的主要结构与成像 * * * 真空系统 供电系统 电子光学系统 第一节 透射电子显微镜的主要结构 * 电子光学系统 * * 电子光学系统 成像放大系统 图像观察和记录系统 照明系统 电子枪 聚光镜 阴极 栅极 阳极 试样室 物镜 中间镜 投影镜 观察屏 照相机 计算机 * 阴极（接负高压） 控制极（比阴极 负100~1000伏） 阳极 电子束 聚光镜 试样 照明系统 * 阴极 栅极帽 阳极 1.电子枪 * (a)自偏压回路 (b)电子枪内的等电位面 * 如果第一交叉点电子流密度为ic，发散度为β，那么电子枪的亮度为： 在电子枪第一交叉点获得的最大聚焦电子流密度ic由朗格缪尔（Langmuir）公式给出： 所以： * 2.聚光镜 双聚光镜照明系统光路图 * underfocused Focused overfocused (Second condenser lens ) * 成像放大系统 成像放大系统 * 1. 样品室 样品室位于照明部分和物镜之间，主要作用是通过样品台承载试样，移动，旋转试样。必要时还可以安装加热、冷却样品台。 3mm 样品铜网 * 物镜是用来形成第一幅高分辨电子显微图象或电子衍射花样的透镜。物镜是电镜最关键的部分，透射电镜的分辨本领主要取决于物镜。 2. 物镜系统 * 物镜光阑(Objective aperture ) * α 物镜光阑 物镜 样品 物镜像平面 减小像差 * 质厚衬度 提高图像衬度 * 衍射衬度 提高图像衬度 * 明场 暗场 明暗场操作 * 试样 物镜 像平面 选区光阑 虚光阑 在物镜像平面上插入选区光阑实现选区衍射 选区光阑 * 3. 中间镜和投影镜 中间镜(Intermediate lens) * * 将显微像投影到荧光屏 将衍射花样投影到荧光屏 物镜 试样 物镜后焦面 观察屏 投影镜 中间镜 d Md 物镜象平面 选区衍射花样 * * 2q 2q 2q 入射束 后焦面 衍射斑 透射斑 物镜后焦面上的衍射花样 * （a）高倍成像 样品 物镜 衍射谱 第一级实像 中间镜 第二级实像 投影镜 终像 （荧光屏） （b）中倍成像 4.透镜 成像放 大系统 第一级实像 * 物镜关闭 中间镜 （作物镜用） 投影镜 第一实像 （荧光屏） 终像 (c) 低倍成像 * 图像观察和记录系统 * 第二节 透射电子显微镜的分辨本领和放大倍数的测定 分辨本领和放大倍数是透射电子显微镜两项主要指标，它体现了透射电镜显示样品显微组织和结构细节的能力。 * 1. 分辨本领测定 透镜的分辨本领分为两种：点分辨本领和晶格分辨本领。 点分辨本领的测定： 将铂、铂-铱或铂-钯等金属或者合金用真空蒸发的方法沉积到火棉胶或者碳支持膜上，得到粒度5-10?、间距2-10?的分布均匀的粒子。在高放大倍数下拍摄这些粒子的象，至少在同样的条件下拍摄两张底片，从照片上找出粒子间最小间距，除以总的放大倍数，即为相应电子显微镜的点分辨本领。