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微机械陀螺动态特性研究木 吴昌聚马慧莲金仲和丁纯王跃林 浙江大学信息与电子工程系杭州 310027 摘要：设计了一种新型的微机械陀螺。通过模态分析乖优化设计，使得驱动模态固有频率和检测模 态固有频率之差落在所要求的频差范围内，获得了比以前微机械陀螺更高的Q值。通过谐振响应分析 发现，在陀螺上任意对称两点的X方向上位移相等，相位相同，而Y方向上位移相等，方向相反，这 样就没有存在机械耦合的可能。 关键词：微机械陀螺模态分析谐响应分析有限元法 1．前言 陀螺及其相关技术一直是各国重点发展的技术之一，发展十分迅速【1】。微机械陀螺与传统陀螺相比，具 有体积小、质量小、成本低、可靠性高及可批量生产等优点，可广泛应用于汽车的安全、导航，摄像机的防 抖动，医疗仪器，航空航天，武器等领域，具有广阔的应用前景【2】。Q值、灵敏度和驱动力是衡量微机械陀 螺机械性能的重要指标。这三者的关系是：驱动力矩越大，陀螺的灵敏度就越高：Q值越高，灵敏度就会越 高。此外，增大Q值有助于减小陀螺的热机械噪声。因此，应尽量设计出Q值较大的陀螺结构。根据应用 场合，可以把微机械陀螺分为高灵敏度工作方式和高带宽工作方式两种类型【3】。当陀螺以高灵敏度方式工作 时，检测模态的固有频率∞，接近驱动模态的固有频率酞，这时检测灵敏度较大，但是工作带宽很窄；当陀 螺工作在高带宽方式时，此时工作带宽较大，但检测灵敏度降低。所以为了使得工作带宽不至于太窄、灵敏度 结构的微机械陀螺，提高了Q值，但是该陀螺驱动力小。陈永【5】提出了一种新型的采用电磁驱动方式的基于滑 膜阻尼效应的微机械陀螺，该系统具有较高的Q值，其驱动模态的Q值为863，检测模态的Q值为890。 本文在前人提出的微机械陀螺基础上，在结构上进行了改进，目的使得驱动力和Q值有所提高。通过 模态分析获得驱动模态和检测模态的固有频率，通过调整连接两驱动质量快的弹性梁尺寸，使得的频率差落 在要求的范围内，并计算出驱动模态和检测模态的Q值。通过谐响应分析确定在X方向驱动力的作用下彳 方向和Jr方向的响应情况。 2．微机械陀螺的设计 图1所示为微机械陀螺的基本结构。整个结构由对称的两部分构 成，每部分包含一个驱动质量块和一个检测质量块，检测质量块位于 驱动质量块的中间，通过弹性梁和驱动质量块连接，两个驱动质量块 中间由弹性梁连接起来构成音叉式结构。每个驱动质量块通过弹性梁 与固定在玻璃衬底上的锚点相连。此外，为了增加驱动力和提高Q值， 把驱动质量块设计成栅结构，每个单元的栅个数为9个。并且在中间 部位采用梳齿结构，每个单元梳齿个数为14个，共4个单元。 3·微机械陀螺模态分析 图l微机械陀螺基本结构 模态分析的目的在于得到陀螺的驱动模态固有频率和检测模态固 有频率，看频率差是否满足要求。此外通过计算阻尼比，为谐响应分析做准备，与此同时可以计算出Q值。 ‘国家自然科学基金和国家重点基础研究发展计划(2006CB300405)资助项目． 117 图l中大多数基本尺寸都是从电学角度计算要求的结果，所以修改起来工作量较大。而连接左右驱动质量块 的弹性梁的尺寸和其他一些尺寸相比优化起来相对简单，优化的目标就是保证驱动模态和检测模态的频率差 在50Hz-80Hz左右。表1所列是弹性梁在各种尺寸下的检测模态和驱动模态的频率差。从表中可以看出， 当驱动梁的长度为13751un时，其频率差为76Hz，满足设计要求。 表l 弹性梁在各种尺寸下的驱动模态和检测模态的频率差 弹性梁长度／岬 1250 1300 1350 1375 驱动模态固有频率／Hz 2846 2766 2724 2697 检测模态固有频率／Hz 2773 2773 2773 2773 频率差／Hz -73