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旋片真空泵拾遗罗根松, 王国民, 张哲贵(浙江真空设备集团有限公司, 浙江 椒江 318000)摘 要: 本文论述了旋片真空在设计、生产和使用中存在的问题, 提出了解决的方法和研究方向。关键词: 真空泵; 旋片泵中图分类号: TB 752123文献标识码: BA dden da of Ro ta ry Van e Va cuum Pum pL U O Gen 2so n g, W A N G Guo 2m in g,(Z h ej in g V a cu um E qu ipm en t G roup C o1L td. ,ZH EN G Zh e2gu iJ ia oj ia n g 318000, C h in a )A bstra c t: In th is p ap e r, th e p ro b lem s m e t in de sign ing, p ro duc ing and u se o f th e ro ta ry2vane vacuum p um p a re d iscu ssed.T h e so lu t io n m e tho d s and th e re sea rch d irec t io n a re g iven.Key word s: vacu um p um p ; ro ta ry van e p um p至卡死。原因在于随着压力的上升, 泵的功率和温度也上升, 热膨胀也厉害, 而高真空级的长度一般为低 真空级的 2～ 4 倍, 因此如高真空级的间隙小, 则热膨胀使它的间隙越来越小, 摩擦也越厉害, 恶性循环最终使泵 (主要是高真空级) 卡死。 此外切点间隙对泵的极限压力影响极大。 因为切点二边一是压缩腔, 一是吸气腔, 压差较大, 尤其是在接近排气时, 压差最大。这时压缩气体最容易通 过切点间隙向吸气腔返流, 所以切点间隙必须严格极限压力和抽速我们认为双级旋片泵的高真空级与低真空级之 间的关系类似罗茨泵与前级泵的关系。1. 1 间隙对极限压力的影响泵的极限压力决定于低真空级极限压力, 低真 空级极限压力低, 则高真空级极限压力也低。因此低真空级的间隙非常重要, 一般认为既然是低真空级 要求不高, 间隙可以放大一些, 但实际却截然相反, 低真空级非常关键, 它这里的气体分子自由程(相对 高真空级而言) 小, 气体阻力小, 容易泄漏, 因而间隙 应该小; 而高真空级处气体分子自由程大, 气体阻力大, 故 间 隙 可 以 取 得 比 低 真 空 级 大。 例 如 英 国EDW A RD S 公司的 E 2M 40 旋片泵, 低真空级端面 间 隙 为 0. 06mm , 而 高 真 空 级 端 面 间 隙 为 0.095mm ; 又如日本 U L V A C ( 真空技术株式会社) 的D 650K 旋片泵低真空级端面间隙为 0. 05mm , 高真 空级端面间隙为 0. 08mm 。这样的间隙安排也符合热膨胀的要求, 照一般规律旋片泵在 ( 3. 3～ 4) ×104 P a 时功率最高, 以后 应逐渐下降。 但我们在检测中发现不少厂的泵的功率在这压力以上不但不降, 反而继续上升, 有的泵甚1控 制, 一 般 15L /s以 下 的 泵 应 控 制 在 0. 01～0. 02mm , 大的泵也不能超过 0. 03mm 。1. 2高、低真空级之间通道的流导对抽速的影响增加高、低真空级之间通道的流导, 有利于泵抽 速的提高。 对于一台泵来说, 它的高、低真空级的压 缩比根据抽速的大小一般取 1～ 6, 压缩比越小, 向 高真空级的返流和泄漏就越少, 有利于极限压力的 降低。 在高、低真空级缸的比例确定之后, 要保证低 真空时泵的抽速, 必须在高真空级排出处设置余气 阀, 这一点大家都已知道。但怎样保证高真空时的抽 速, 则很少有这方面的报道, 我们认为这时就必须考 虑高、低真空级之间的通道的流导。 如果流导过小, 低真空级由于通道流阻的影响, 不能有效地把高真 空级排出的气体完全抽吸, 导致气体返流增加, 则就 不能保证高真空级的抽速, 因此高、低真空级之间的收稿日期: 2000205217作者简介: 罗根松 (19402) , 男, 上海市人, 高工。真空第 4 期44流导直接影响到高真空时泵的抽速大小。我们做了一个对比, 一台 2X Z24 型泵, 由于高、 低真空级之间通道的流导不足, 2P a 时抽速只有1. 3L /s, 抽气效率只有 30% 。 适当增加它的通道截面 积, 就提高到 2L /s, 再增加通道截面积, 就达到2. 56L /s, 抽气效率提高到 59% , 这就充分说明, 增加高、 低真空级之间通道的流导对于提高泵