碳纳米材料及其在真空微电子器件中的应用研究.pdfVIP

碳纳米材料及其在真空微电子器件中的应用 孙 卓 陈奕卫 郭平生 陈 婷 张哲娟 王莉莉 曹章轶 华东师范大学纳米功能材料和器件应用研究中心 上海纳晶科技有限公司 蔡炳初 徐东 上海交通大学微米纳米科学技术研究院 Y．Sun NanocsInternational Inc．，NewYork，USA zsun@mail．ecnu．edu．cn Nanostucturedcarbonmaterials emission and如la application ChinaNormal NanotechCenter,East Unwers毋 TechnologyCo．，Ltd． SJla粥槭Nanoking 200062，Ch／na 硒赫ZhongshanRd．3663,Shanghai B．C．Cai,D．Xu Unweary,Shanghai ShanghaiJmowng Y．Sun International Nanocs Inc．，NewYork。USA 摘要：本文从碳蚋米材料。特别是碳蚋米管或纤堆薄膜的的刺备工艺、蛄构性能及其作为发射电子的冷阴极 在场发射器件中的应用进行了综述。重点叙述了在新型平面显示If(FED)、节能光潭、压力传感嚣、微波管等器件方 面的应用。同时报道了新近研制成功场发射性能优异的高真空封装的FED原翌嚣件。使研制实用化的FED取得了 突破。 关键字：碳蚋米材料。冷阴极，场发射器件，化学气相沉积。 carbonmaterials carbonnanotubesandfihershavebeenbelieveda8thebestnov· Abstract：Nanostmctured including 88 andmicrowave elcoldcathodeforfieldemission fiat 80urce devices，suchpaneldisplay，light80urce，sensor，X-ray related and arereviewed． fabrication structureand forthe devices amplifier．Theprocess,Inaterialproperties applications words：nanostructured emission Key carbon，coldcathode，fielddevice，chemicalvapordeposition． ～、引 富 纳米科技已从科学研究走向产业化，并产生了具大的经济效益。全球相关产