MOVPE低温生长的n型GaN电学特性研究.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ;’ ( ##$ ( ， ， ， OB@ .;’ -B .( 0INEI6XIY ##$ （ ） ###/8(#M##$M;’ #( M;(8/#; S VUW0L 0L-L ##$ H1* . VHCF . 0B5 . 低温生长的 型 电学特性研究! !#$% ’() 汪 莱 张贤鹏 席光义 赵 维 李洪涛 江 洋 韩彦军 罗 毅! （集成光电子学国家重点实验室，清华信息科学与技术国家实验室，清华大学电子工程系，北京 ###$% ）