聚乙烯薄膜表面沉积纳米犁犻犗狓涂层的阻隔性能.PDFVIP

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２８ ３ Ｖｏｌ．２８ Ｎｏ．３ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１５ ６ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ｊｕｎｅ ２０１５ ： ／ ｄｏｉ１０．１１９３３ ．ｉｓｓｎ２０１５．０３．００６ ｊ 聚乙烯薄膜表面沉积纳米犛犻犗狓涂层的阻隔性能 桑利军，王 敏，陈 强，刘忠伟，王正铎 　 　 （北京印刷学院 等离子体物理及材料研究室，北京 １０２６００） 摘 要：为了提高药品包装用聚乙烯（ ）薄膜的阻隔性能，利用射频等离子体增强化学气相沉积技术，以氧气 （ ） ＰＥ Ｏ 　 ２ 和六甲基二硅氧烷 （ＨＭＤＳＯ）作为氧化性气体和硅源单体，在 ＰＥ薄膜表面沉积一层纳米厚度的柔性 ＳｉＯ狓 涂层。采用 傅里叶变换红外吸收光谱、原子力显微镜和气体透过率测试仪对 ＳｉＯ狓 涂层的化学结构成分、表面微观形貌和气体阻隔 性能进行表征。结果表明： 涂层的化学结构和表面形貌对其阻隔性能有显著的影响。沉积工艺参数对 涂层 ＳｉＯ狓 ＳｉＯ狓 的阻隔性能起到了至关重要的作用。经过参数优化后制备的 涂层可以有效地提高 薄膜对氧气的阻隔性能，当 ＳｉＯ狓 ＰＥ 射频功率为 ５０Ｗ，氧气和六甲基二硅氧烷的比例为 ２∶１，沉积气压为 ２０Ｐａ时制备的ＳｉＯ狓 涂层的透氧值可从原膜的 ２ ２ ／（ ·）降低到 ／（ ·），对氧气的阻隔率可以提高 倍。 ３０００ｍＬ ｍ ｄ ３０ｍＬ ｍ ｄ １００ 关键词：射频等离子体； 涂层； 薄膜；气体透过率 ＳｉＯ狓 ＰＥ 中图分类号： ； 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＧ１７４．４４４ ＴＢ４８４ Ａ １００７９２８９２０１５０３００３６０６ 　　　 　　　 犅犪狉狉犻犲狉犘狉狅犲狉狋犻犲狊狅犳犛犻犗 犆狅犪狋犻狀狊犇犲狅狊犻狋犲犱狅狀犘狅犾犲狋犺犾犲狀犲犉犻犾犿狊 狆 狓 犵 狆 狔 狔 ， ， ， ， ＳＡＮＧＬｉ ｕｎ ＷＡＮＧＭｉｎ ＣＨＥＮＱｉａｎ ＬＩＵＺｈｏｎ ｗｅｉＷＡＮＧＺｈｅｎ ｄｕｏ ｊ ｇ ｇ ｇ （ ， ， ） Ｌａｂｏｒａｔｏｒｏ