系统仿真技术在薄膜工艺研究中的应用研究.pdfVIP

薄膜硅太阳电池及材料．207． 系统仿真技术在薄膜工艺研究中的应用 王庆章赵庚申许盛之王瑜 ’ ， 7 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所天津300071 【摘 要】 仿真技术是一门全新的学科和功能强大的工具，但在国内的薄膜工艺研究领域 仿真技术还很少得到关注。本文利用软件FLUENT对薄膜工艺喷雾气流场做了 流体力学仿真，通过仿真得到的结果，大大提高了设计的效率，降低了设计成 ， 本；加深了对薄膜工艺过程的了解，带来新的研究思路。 【关键词】 系统仿真薄膜沉积喷雾气流场 0引言 系统仿真(System 就是在数学建模的基础上利用计算机及其图形处理技术，对现实的或者设想的系统进行模 拟。其严格的定义是：仿真技术是以相似原理、信息技术、系统技术及其应用领域有关的专 业技术为基础，以计算机和各种物理效