在等离子体鞘层中的带电尘埃研究.pdfVIP

在等离子体鞘层中的带电尘埃， 刘金远 王德真 ):u理」大学物理系三束材料改性国家重点实验室 少、连 116029 摘 要 不文研究了等离子体鞘层中儿种因数对尘埃的带电和分布的影-.c0竺埃的数密度 约相对人小对尘埃带电的影ir]:由电极或壁热电子或二次c3子及射的束电子对尘埃 下自和分布的影响以及离子对尘埃充巳的损失对尘埃带厄及分布的影响。 引言 三等离子体的材F+处理甲、尘埃不可避免的由气相反应生成或从器壁和材料表面产生 二帝 三、升 人今了加 丁等惠子 休的性 质，u李请 成粉 子的污 染。孕外加 下材料 A4件 后弃个 口等离子体和材料表团接触的等离子体鞘层的性质An定，因此L}i只尘埃任等离子体鞘层; 驹行为以及尘埃对等离子体稍层的影