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第29 卷 第4 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 29 No. 4
2014 年4 月 Journal of Inorganic Materials Apr., 2014
文章编号: 1000-324X(2014)04-0411-06 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2014.13327
具有 SAF 结构的 IrMn 基自旋阀材料的磁场退火研究
1,2 1,2 1,2 2 2 1
李健平 , 钱正洪 , 孙宇澄 , 白 茹 , 刘建林 , 朱建国
(1. 四川大学 材料科学与工程学院, 成都 610065; 2. 杭州电子科技大学 磁电子中心, 杭州 310018)
摘 要: 用磁控溅射法制备了被钉扎层为反铁磁(SAF)结构(CoFe/Ru/CoFe) 的 IrMn 基顶钉扎自旋阀材料, 分别采用
HRTEM、AFM 、XPS 对材料的结构和成分进行表征。首先, 制备的自旋阀材料分别在200 ℃、245 ℃、255 ℃、265 ℃的
-5
真空条件(<10 Pa)下退火4 h, 发现经265 ℃退火, 自旋阀材料会发生明显的层间扩散, 从而引起磁电阻率的降低。
在选择合适退火温度(245℃) 的基础上, 研究了退火磁场对自旋阀材料磁电阻率的影响。在245 ℃的真空环境下, 沿
着材料的钉扎方向分别施加大小为80、160、240 、400 、560 kA/m 的磁场退火4 h 。实验发现经过80 和 160 kA/m
的磁场退火后, 材料的磁电阻率由退火前的8.80%分别下降到5.87%和6.31%; 经240 kA/m 的磁场退火后材料的磁
电阻率变为7.91%; 经400 kA/m 的磁场退火后磁电阻率增大到9.89%; 经560 kA/m 的磁场退火后磁电阻率进一步
增大到 10.79%, 比退火前增加了22.6% 。
关 键 词: SAF; 自旋阀; 磁场退火
中图分类号: TQ174 文献标识码: A
Effect of Magnetic Annealing on IrMn Based Spin Valve Materials
with SAF Structure
1,2 1,2 1,2 2 2 1
Li Jian-Ping , QIAN Zheng-Hong , SUN Yu-Cheng , BAI Ru , LIU Jian-Lin , ZHU Jian-Guo
(1. College of Materials Science and Engineering, Sichuan University, C
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