材料分析测试 第八章 透射电子显微分析.ppt

第八章 透射电子显微分析 第一节 透射电子显微镜工作原理及构造 第二节 样品制备 第三节 透射电镜基本成像操作及像衬度 第四节 电子衍射原理 第五节 TEM的典型应用及其它功能简介 显微镜的发展 主要功能 1.透射成像（明场、暗场）：用于分析材料的微观形貌、相结构、相关系等； 2.电子衍射[选区电子衍射（SAED）、汇聚束衍射（CBED）、微区衍射]：用于研究物质的晶体结构、材料的晶体学信息以及低维材料的生长方向； 3.扫描透射成像（STEM）：用于材料的晶体结构及元素分布状态研究； 4.高分辨成像（HRTEM）：用于研究材料微区晶格特征、晶体缺陷、晶界、相变，界面关系等； 5.能量过滤成像（EFTEM）：用于研究材料中元素分布状态、元素扩散、成分偏析等； 6.电子能量损失谱（EELS）：用于研究材料中元素组成、元素价态信息以及材料介电系数等； 7.能量色散X射线谱（EDX）：用于研究材料的成分、元素分布以及元素扩散、成分偏析等，可进行点、线、面扫描分析。 电子显微分析方法的种类 透射电子显微镜(TEM)简称透射电镜 电子衍射(ED) 扫描电子显微镜(SEM)简称扫描电镜 电子探针X射线显微分析仪简称电子探针(EPA或EPMA) 波谱仪(波长色散谱仪，WDS) 能谱仪(能量色