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微石英音叉电学参数的有限元分析 廖兴才，唐琼，孙雨南，崔芳作者单位 北京理工大学信息科学技术学院光电工程系 北京，100081 E-mail ：syn@ 摘要：本文以U 形石英音叉为例，提出了石英音叉的静态集总电容模型，并给出了计算静 态电容的有限元分析方法。根据等效电路模型，介绍了通过求解串联谐振频率和并联谐振频 率的方式来求取等效电路参数的方法，指出用有限元方法求取串联和并联谐振频率时，应分 别将电极作短路和开路处理。最后给出求解石英陀螺电压或电流灵敏度的有限元分析方法。 关键词：石英陀螺，静态集总电容，动态等效电路，有限元分析方法 1 前言 石英音叉是微石英陀螺的敏感单元，设计压电元件的方法主要有解析解法和数值解 法。通过推导解析公式，设计者可以得到对器件工作机理的深刻理解，但由于在求解过程 中需要对复杂结构进行简化，所以仅适用简单的几何结构或只需要近似解的情况。在实际 应用中，所选用的音叉结构有时是非常复杂的，采用解析解法已非常困难。计算机软硬件 技术的飞速发展，为有限元分析方法在微石英音叉的设计上的应用提供了条件。目前有限 元分析方法已经成了国内外设计微石英音叉的主要方法。人们用它研究了耦合、结构尺寸 [1，2，3，4]对陀螺性能的影响，但主要限于机械或者力学领域。用有限元分析的方法分析石英 音叉的电学参数，为石英音叉的外围电路设计提供必要的参考，目前还未见有报道。本文 以U 形音叉为例，介绍应用大型有限元分析软件 Ansys 分析石英音叉的静态电容、动态电 阻、动态电感、动态电容，以及灵敏度的方法。分析方法可以应用于 其它任何复杂的结构。 2 音叉的有限元建模 图 1 是石英音叉陀螺的有限元分析模型，单元类型为三维耦合场 单元 solid5，两个叉指上分别镀有驱动电极和检测电极，在这里没有 给出电极间的连线，因为电极间的连线与电极相比较细，而且都分布 在音叉的根部，对陀螺的性能影响很小，所以在有限元分析模型中将 它们忽略。由于电极的厚度跟音叉尺寸相比非常小，因此可以不用对 电极进行实体建模，这里做一下简化处理：有电极的节点是等电位的， 图 1 音叉模型及 将覆盖有相同电极的表面上节点的电压自由度耦合，就可以模拟电极， 电极配置 转载 中国科技论文在线 图中叉指上灰度相同的区域就表示有相同电极覆盖的区域。 3 静态电容模型及其参数计算 石英属于绝缘材料，在作静态分析时，只需要考虑静 态电容，静态电容反映了石英音叉的介电特性。驱动电极 与敏感电极的静态集总电容模型如图 2，两电极的负极都 接地，其中 G 是驱动电极的自集总电容，G 是敏感电极 11 22 的自集总电容，G12 是驱动电极与敏感电极的互集总电容， 体现了驱动电极与敏感电极的静电耦合，敏感电极输出的 背景噪声中一部分就是通过 G12 耦合过来的，因此它是影响 图2 石英音叉的静态集总电容模型 敏感电极灵敏度的一个很重要的参数。在过去的理论计算