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           A31I三坐标测量机精度补偿系统 
                              洪克岩 卢晓军 
                           、人连机1.A辆I 夫连  116022) 
   摘要 本文以lip5 。:2t{A双颜激光侧址系统为基抢.利川CAA程17补偿 二丰A3                    座标测量机单 
轴的.):值误7 ‘月月采用名种微机语言编l了入机交jl界血程序 〔 
  产键词:CAA 和举分段水’}’分割法 人机x互界A 
   前言 
    川TLTOYO-A311万座标测杖机 系 }J本七十年代 产品,为龙 门式手动侧荤机, 由J长期1更用 , 
出现许多问题: 
    测量精度低,光栅尺单轴示值识差最人0.024mm,不能满足高精度测耸 
    测晕程序每次手 1实时编缉修改,且操作技术性要求高,易出错,费时较多 
    机器采用长城0520刑计算机,为8位机,档次低,容晕小,速度慢 不宜进行复杂人数据 
处理 
    f1.现有的测举环坡及仪器设备基础 {_,HP5528A双频激光测耸系统对二座标测举机的示值 
误x进行测童。充分考虑其误并影响冈素 进行可靠修止〕补偿时,采用一种易于实现且补偿效 
果?P }}的微机辅助误x补偿方法,即斜率分段水平分Tfi法,根据实测的iz}.曲线,分段水平分M, 
确定误筹补偿分段斜率,廷心_误斧修11表,编制误筹修)I软‘侧,逐点进行补偿。使用过程中可以 
根据仪器本身状7R及环境W度等实际条们变化随时进行误差的测晕及补偿,可人幅提高仪器的测 
举精艘,误筹减小509以_}二。补偿程TCAA96采用FORTRAN语言编写,使用模块化编程结构, 
故通用性好,f便T修改,扩充其功能u)!j便地用I各种微机系统 
    为提高计算机档饮,本系统采用486以 卜微机 在软硬州方而,进行接日,利用C语六开发 
  套人机交互界面好,]1带提示帮助的窗日程序(WD,利川窗日及菜单程序,只要按箭头指示键、 
回车键及少数儿个功能键即可进行}}勺 程序亦采用枚块的结构,选抒菜单条,Iif以实现科序文 
件列表,文们内容显可杏错,拷贝文州、执行文4i艺多项功能 充分利川屏幕有限空间实现多种 
非同步作业。 }_侧测杯 
程序编辑可事先完成。’尖现磁4f存储 {伯中实时调泪,人幅减少}作WI,11不易出错,,}省时 
间,亦减小了操作难瓜 
    硬fl4}III}序)Uif编语言编’,‘ 
    本.系统充分利用汇编,FORTRA%及 {语离各C7的优 占.采川多种语言握合编程.实现了单独 
采川 种if` 完成困难k报才不‘JI能实fll的 }i1 (4ii}r4l的idsIvtr6.8R!椎)’ 
    2,18 
2测量机的位置精度 
    库标机 }il时,其本身的误差可归结为原理误荤和原始误差两人类,就其数学表现即为系q 
iu差和偶然误差。系统误并包括测w机的机械误斧,如导轨百线度误斧,各导轨间的垂Il:度误y 
回程误井和阿贝误筹等笠。对由1一光棚尺安装从测晕机的机械误X所反映出的单轴不仇误并的补 
偿,对于系统误yl的减少将,t.’生重要作用。而偶然误欠包括导轨直线度、垂直度在运动中引起的 
I.J部误差,测力变化引起的误斧,测头重复性误荞 }fI表面硬度不同引起的误差。测试环境ilni 
度梯度及其波动,地基的震动及湿度的间接影响气.这些误斧都对测W机的综合精度造成影响, 
而只有部分单项误斧可作定性分析,少部分可作定晕分析一即使能作定举分析.但由1.各单1如吴 
井的抵消作用,也难以用 1对综合精度的综合计算 
    在系统误差中,对于龙门式测量机的位置,导轨的准确度和垂直性方面,通常被划分为X. 
Y.Z侮个力向上各有的 个平移和三个转动的误差,再加上二轴之间的垂tf.度误等,共有21 
项误斧,其中导轨的直线度误并和各轴之间的IF:直度误斧.’!全部精度的50几。以上。工然通过最 
小_乘II归拟和,可以确定 一个描述儿何始偏差在空间的相互作用的精确公式,从Ifp对系统误斧 
进行}泛的修11,但在现有测址环境及测试仪器设各的基础 卜.对丁单轴示值议差的测址与修 
0,将员有更人的性能价格比,且具有更实际的意义。在9111id中的口产二坐},1;X轴的示值误诊 
进ij一M,ljll},其最人示值议筹达tIJ0.024mm,且符号方向 一致 人小相对固定,表现出规律的系统 
误斧特性.如加以软件修11后,可以人人提高f义器的。值糯度 
   坐标尺零位的建立(测头校准) 
    1117Tf0Y0-A311:坐标测娜机的坐标尺是余1,},光tillI丈, 光
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