MCT薄膜材料的开管退火研究.pdfVIP

父、622207 摘 要 HgCdTe薄膜材料是红外焦平面探测器的理想材料，退火处理是材料研制过 程中一个非常重要的环节。退火处理有开管和闭管两种方式，开管退火是一种更 先进的退火方式。 本文研制了一套开管退火系统。系统的镀金双温区炉具有石棉炉所不具备的 恒温区优势和升降温速率优势，利用镀金双温区炉对材料进行退火处理，大大提 高了退火处理的重复性 ‘ 采用开管的方式对LPEMCT薄膜材进行了成功的退火处理，退火后材料分 别得到N型材料载流子浓度:5-7)11013Cm3，迁移率大于10000cm2vs3;P型材 料载流子浓度:“、。，一‘、，106cm-,,迁移率}3D0cm}v1s·te 研究了开管退火过程对材料组分((Xcd)的影响，发现恰当的退火能同时保证材 料的组分不发生改变和控制材料电学参数两个目的。 采用 “循环退火”对材料进行退火处理，改善材料的结构性能并用x-ray双 晶回摆曲线对材料的FWHM进行研究。结果表明，循环退火能有效改善材料的 结构性能，减小材料的FWHM. 对退火前后材料的EPD进行研究，发现退火处理能降低材料的EPD密度。 关键词 HgCdTe(磅福汞) 开管退火 电学参数 EPD FWHM 红外透过率 朱经作者、 如全文公市 ABSTRACT HgCdTelayerisagoodmaterialforhighperformanceInrfa-RedFocalPlane Array(IRFPA)detectordevices.TheannealingofHgCdTeisaimportantstepduring preparingaHgCdTematerial.Theannealingmethodsincludeclose-tubeand open-tubemethodandopen-tubemethodisthegoodone. Aopen-tubeannealingsystemhasbeensetup.Thetwo-zonegolden-furnaceof thissystemhasbettertemperaturezonethanrtaditionalasbestosfurnaceandcanbe heateduporcooleddownfaster. LPEMCTlayershavebeenannealedsuccessfullywithopen-tubesystem.TheN typematerialafterannealinghaveconcenrtation5-7X103cm3andmobility 13760cm2.vI.s-;P type materialafter annealing have concentration 6.97.10’一1XI0“二一，andmobility-300。时，、一，一s‘ TheeffectofannealingprocedureonXodwasstudied.Itcanbeenseenthata properannealingprocedurecanprovidetheshiftofX,dandcontroltheelecrtonic propertiesatthesametime. `Cycle-annealtechnologyhasbeenusedtoimprovematerialsstructure performance.Structureperformancehasbeenstudied勿X-rayrockingcurve.Itcan beseenthat`Cycle-annealcanlowerFWHM. BPI)o#LPElayershasbeenstudiedbothbeforeannealingandafterannealing,it canbefindthatannealingcandecreasethelayersEPD. Key-word:HgCdTe. open-tub