大气压常温辉光放电等离子体的产生研究.pdfVIP

大气压常温辉光放电等离子体的产生 陈铿张源邓续周朱绍龙张善端 复旦大学电光源研完所(200433) 摘要大气压常温辉光放电等离子体具有放电均匀、常压处理、效率高、温度低等 特点．在表面址理、材料改性、灭菌等方面有广泛的应用。本文介绍了利用介质阻捎放电 和等离子体射流在常溢常压下产生均匀辉光放电的方法。 美键词大气压辉光放电等离子体介质阻挡放电 等离子体射流 气体放电等离子体为物质的第四态，由电子、各种离子、原子或分子组成， 广泛地应用于光源、臭氧产生、等离子体灭菌、材料改性等方面…。与弧光放 电、火花放电相比．辉光放电等离子体由于放电均匀，效率相对较高”3．且没有 电弧产生．对于置于放电间隙内的待处理样品损伤较小”l，所以在工业领域有 广泛应_}{}j。由汤生放电过渡到孤光放电所需要的时间墩决于放电间隙内的气体 种类、气体压强和间隙宽度“I。因此如何将气体放电控制在辉光放电f或是类似 辉光放电的扩散型放电)是I。分有意义的事情。在实际生产中，若要产生稳定 的辉光放电，往往需要有较低的气压，这需要用到真空泵，增加了很大的生产 成本”J。因此，工业界迫切需要能在大气压条件下产生辉光放电等离子体或类 似的扩散型放电的器件，对大气压辉光放电的研究起了很大的推动作用。在常 温常压下，扩散型介质阻挡放电和等离子体射流是两种有效的辉光放电产生形 式。 1 大气压下扩散型介质阻挡放电 介质阻挡放电义叫无声放电或阻挡放电，是在两个平板或同轴电极间插入 介质。电投上施加交流高压来产生离气压火花或辉光放电。常用的介质层有玻 璃、石英、陶瓷和薄的珐琅，以及覆盖在金属电极表面的高分子材料。介质阻挡 放电的击穿机制可用流光理论来解释”l，一般形成丝状放电。在一定条的件下， 会产生扩散型的均匀辉光放电…。 1．1 多针一平板介质阻挡放电 1988年Knazawa等人嘲提出了在～个大气压条件下产生稳定辉光放电的条 件：(1)用氦气作为稀释气体；(2)在电极板上必须覆盖耐热性良好的介质层；(3) 刷状的电极作为上电极；(4)如果要产生持续的辉光放电，额率要控制在3kHz 以上，或者使用射频放电。 2S8 Knazawa等人研制的绝热放电管可满足这儿项要求[61，如图l所示，这是～ 种多针一平板介质阻挡放电。兼有电晕放电和介质阻挡放电的特性。当电压在 正半周期时，假设针状电极为阳极，电子雪崩形成，由于电子速度快，迅速进入 阳极。但是离子速度慢，因而缓慢地向阴极扩散。所必在针状电极附近产生了 大量的空间电荷。这些电荷削弱了针状电极附近的场强，防止针极附近产生流 光，而当正离子到达介质板时，在介质板上聚集，形成与外场相反的电场，防止 电流向弧光过渡。当电压为负半用期时，正离子向针状电极扩散，从而加强了 针极附近的电场，容易形成流光，但是此流光却难以向前发展。而当电子到达 介质板时，同样限制了电流的进一步扩大n。 2004年，西安交大王辉等人报道了多针一平板和平板一平板介质阻挡放电 的比较”{，他们采用的实验电路如图2所示。多针电极面积为2×2era2．8×8个 钢针均匀分布其一t-_，针与针之间的距离为2．5ram，针尖直径为0，05ram。下电极 X mm 面积为2 2cm2的黄铜平板电极。介质板覆盖在下电极表面，气隙间距l～30 可调。电源最大输出电压50kV，频率50Hz。放电电压由电阻分压器测得，R．= 60Mn．R，=200kn，分压比300。放电电流由放电圊路中r=100n的元感电 阻测得。放电电荷通过C=0．47¨F的电容测量。实验在空气环境下进行，温度 为18℃。实验结粜发现，多针一平板放电比单一的针状电极或传统的双平板介 质阻挡放电均匀。这种放电可看成许多并联的单针一平板的介质阻挡放电，即 介质阻挡放电和电晕放电的结合”I。但是由于实验的频率只有50Hz，故在放电 间隙中能看到丝状放电。如果使用lkHz以上的频率，则放电应更为均匀。 多针一平板电极 圈1绝热放电管 图2多针一平板放电电路图 ·259 1．2格栅电极介质阻挡放