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基于飞秒激光切割的石墨烯图案化研究.PDF
See discussions, stats, and author profiles for this publication at: /publication/282457842
Patterning of Graphene by Femtosecond Laser
Cutting
Article in Chinese Journal of asers · July 2015
DOI: 10.3788/CJ 201542.0703002
CITATIONS READS
0 74
5 authors, including:
Peixun Fan Minlin Zhong
University of Virginia Tsinghua University
34 PUB ICATIONS 235 CITATIONS 239 PUB ICATIONS 2, 25 CITATIONS
SEE PROFI E SEE PROFI E
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Investigation into the mechanism on laser fabrication principle for durable large area metallic surface
micro-nano structures and their functionalization View project
aser material processing View project
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第42卷 第7期 中 国 激 光
Vol.42,No.7
2015年7月 CHINESEJOURNALOFLASERS July,2015
基于飞秒激光切割的石墨烯图案化研究
林 喆 叶晓慧 韩金鹏 范培迅 钟敏霖
清华大学材料学院激光材料加工研究中心,北京100084
摘要 随着石墨烯研究的不断开展，图案化的石墨烯成为石墨烯器件应用的重点需求。采用飞秒激光切割的方法
对石墨烯进行图案化。研究了飞秒激光能量密度和扫描速度对石墨烯切割的影响，通过光学显微镜和拉曼光谱
仪，分析了不同激光参数下石墨烯的切割质量。得到了飞秒激光切割单层和多层石墨烯的能量密度阈值，分别为
1.0J/cm2和0.8J/cm ,最优的激光扫描速度为100mm/s。通过切割区域残余石墨烯的拉曼光谱分析得到本方法切割2
石墨烯的机理为氧化烧蚀。基于优化的激光参数，通过对激光光束移动的控制，实现了不同复杂图案石墨烯的切
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