TCAD技术在微电子实验教学体系中的应用与研讨.pdf

-- ISSN 1002 4956 实 验 技 术 与 管 理 第 29卷 第 2期 2012年 2月 ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ．．．． ． ．— — CN11—2034／T ExperimentalTechnologyandManagement Vo1．29 No．2 Feb．2012 现代教育技术 TOAD技术在微 电子实验教学体系中 的应用与研究 刘剑霜，郭鹏飞，李伙全 (扬州大学 物理科学与技术学院，江苏 扬州 225002) 摘 要 ：针对传统微电子专业实验设备昂贵、实验周期长、效果不理想等缺点，提出了一种通过半导体工艺和 器件 的计算机辅助技术 (TCAD)进行虚拟实验教学的方法 。该方法速度快，可 以在实验前后和过程 中，直接 观察材料和器件 的形貌和内外参数 ，是对理论课程 的实践和扩充 。介绍 了合理安排实验规划方案和解决实 施 中遇到问题 的思路 。 关键词 ：TcAD技术 ；微 电子实验教学；虚拟实验 中图分类号 ：G434；N45 文献标志码 ：B 文章编号 ：1002—4956(2012)02—0078-03 ResearchandapplicationoftechnologyCAD inmicroelectronic experimentalteachingsystem LiuJianshuang，GuoPengfei，LiHuoquan (SchoolofPhysicsScienceandTechnology，YangzhouUniversity，Yangzhou225002，China) Abstract：A teachingmethodusingvirtualexperimentsbasedontechnologycomputeraideddesign (TCAD)is presentedtoovercometheproblemsofconventionalmicroelectronicexperimentalteaching，suchasexpensive equipment，longexperimenttimeand unsatisfactoryeffects．Thestudentscanobtaintheinnerandouterpa— rametersofthematerialsordevicesatanytimeofexperiment．Thisarticlealsodiscusseshow tolayouttheex— perimentsrationallyandsolvethedifficultiesofteaching． Keywords：technologyCAD；microelectronicexperimentalteaching：virtualexperiments 微电子产业作为高科技和信息产业 的核心领域， 是当前高校无法回避的问题。 在我国得到了前所未有的重视和突飞猛进 的发展。目