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第6章 谐振式传感器 谐振式传感器是利用某种谐振子（谐振器）的固有频率随待测量变化进行测量的 要实现一个谐振式传感器，需要做三个方面的工作：第一，激励振动元件使之发生谐振；第二，在振动元件和待测物理量之间实现耦合，使元件的谐振频率随待测物理量的变化而变化；第三，拾取出振动元件的谐振频率，利用谐振频率与待测物理量之间的耦合关系，实现对待测量的间接测量。 6.1 常用的激振、拾振方法 谐振式微结构传感器的激振方式一般有:静电激振、电磁激振、压电激振、电热激振和光激振等；拾振方式一般有: 静电拾振、电磁拾振、压电拾振、压阻拾振和光学拾振等。 6.1.1 静电激振、静电拾振 图6-1 静电激振、拾振示意图 图6-2 静电梳状谐振器结构与工作原理图 6.1.2 电磁激振与拾振 图6-3 电磁激振、拾振示意图 6.1.3 压电激振、拾振 图6-4 压电激振、拾振示意图 6.1.4 电热激振、压阻拾振 图6-5 电热激振、压阻拾振示意图 6.1.5 光激振、拾振 图6-6\图6-7 \图6-8 硅膜直接吸收光能 图6-9/图6-10 硅膜不直接吸收光能 (自谐振式) 6.2 谐振式加速度传感器 目前，谐振式硅微机械加速度计已经成为硅微加速度计发展的新趋势。 6.2.1 振梁型谐振加速度计 图6-11 振梁型谐振加速度计原理简图 图6-12　电子显微镜下的传感器结构 (2000年德国慕尼黑克莱斯勒-奔驰技术中心) 图6-13　静电刚度式谐振微加速度计简图 6.2.2 静电刚度式谐振微加速度计 图6-14 DETF谐振式微加速度传感器结构图 6.2.3 DETF式谐振微加速度计 6.3 谐振式压力传感器 谐振式压力传感器就是利用压力变化来改变物体的谐振频率，从而通过测量频率变化来间接测量压力。 谐振式压力传感器主要用于航空、航天工业，如喷气发动机试验、推力控制系统、机载大气数据计算系统，以及气象、地质、航海、油井和工业检测等各种不同领域中。 6.3.1 硅谐振式压力微传感器 图6-15　硅谐振式压力微传感器 图6-16 硅梁的扫描电镜照片 图6-17 绝对压力传感器探头示意图 6.3.2 石英谐振式压力传感器 石英谐振器制成的传感器，因石英的物理、化学性能稳定，常常可以获得很高的测量精度。 石英谐振式压力传感器的敏感元件是一个具有频率高稳定度的石英谐振器，其基本部分为AT切型的圆形石英晶体薄片做成的石英机械振子。 图6-18 石英谐振器的结构及等效电路 AT切型 图6-20 石英谐振式压力传感器的结构 6.3.3 振弦式称重传感器 1—钢球；2—大滑塞；3一液体油；4—客体；5—小滑塞；6—弹性膜； 7—磁头板；8—振弦柱；9—振弦；10—线圈；11—出线嘴。 图6-21 振弦式称重传感器结构图 图6-22 振弦式传感器模型 图6-23 三种常用的振弦激振方式 6.4 谐振式微陀螺 微陀螺是敏感角运动的一种装置，它具有体积小、质量轻、功耗低等优点。 而采用谐振原理的微机械陀螺具有高灵敏度，高线性等优点，其准数字输出更易于与数字信号处理系统集成。 图6-24 谐振陀螺原理示意图 6.4.1 工作原理及理论公式 图6-25 梳齿原理示意图 6.4.2 理论分析