太阳电池用160+kg级多晶硅铸锭工艺及设备的研制研究.pdfVIP

太阳电池组件制造技术及装备 ．60,3． 太阳电池用160 kg级多晶硅铸锭工艺及 设备的研制 林安中 北京中联阳光科技有限公司北京市102211 【摘要】研制了160kg级的太阳电池用多晶硅铸锭炉，对设备的结构及工艺进行了介绍， 对铸锭的材料性能进行分析。 【关键词】 多晶硅铸锭太阳电池 0引言 铸锭多晶硅太阳电池为目前国际上产量最多的产品，其设备的国产化及工艺技术的继续 改进具有重要的经济意义。8090年代国家攻关项目在北京有色金属研究总院进行了17kg 级的多晶硅锭的工艺及设备的研制[1】，其材质达到了当时商品的水平，其铸锭设备是采用电 阻加热方式的。继承以上的工作基础，现研制了国产化的第一台160kg级的大铸锭炉。 1设备及铸锭工艺 铸锭炉是采用中频加热方式。设备具有使铸锭达到180～200kg的潜力，这方面正在进 行进一步的研发中。设备采用了热交换的形式来加强铸锭中温度梯度的控制，对铸锭过程中 的温度及晶体生长速度都进行了程序的自动化控制。 ’， 采用中频加热的优势是加热部件的寿命较长，加工成本低，易于得到大铸锭化。铸锭采 用PLC控制，考虑了各种的报警功能，包括温度区间、温度梯度变化，不同部位的冷却水温 度，铸锭炉外径达到1．7M，采用双层不锈钢，中间通冷却水。采用双铂铑热偶来进行主体 控温。采用步进电机及程序控制来进行坩埚的升降控制。铸锭炉的冷态极限真空达到3Pa。 采用了120kW柴油发电机作为备用电源来保证在任何时候电力中断时，铸锭工序都可正常 的进行。 ． 采用自制的数控带锯破锭机来将铸锭剖成小方锭，。锯带采用不锈钢材料，带厚为0．4～ 0．5 mm，使材料的损耗降到一定的程度。 ·604· 中国太阳胄皂光伏进展 图1 160 图2 160 kg级多晶硅铸锭炉 kg多晶硅铸锭的外貌 2铸锭的性能 铸锭为160 --2 Q·cm。铸锭的晶粒可达到厘米级，证实了铸锭的尺寸越大容易得到越大的晶粒，这有 利于太阳电池效率的提高。铸锭的晶粒情况见图3。在采用质量受到一定限制的太阳级硅作 X 原料的情况下，多晶硅锭的少子寿命达到2．79S。锭中的氧含量么l 5×1017atm／cm3的其在锭中分布情况见表1。 图3多晶硅锭的剖面及显示晶粒生长的情况 表1铸锭中氧、碳含量的分布(1017／cm3) 顶 部 近顶部 中部 近底部． 底 部 ● 氧含量 3．7 4．2 4．6 6．2 7．7 碳含量。 4．72 4．62 3．27 2．86 2．78 -● 3讨论 铸锭工艺的发展趋势是增加铸锭的高度，采用逵续加料为可采取的一个方法。增加坩埚 及脱模材质的纯度，以诚少切去的硅锭的边料及上下部分，提高整个铸的利用率。在硅材料