石英摆片成形工艺研究.doc

石英摆片成形工艺研究 3 哈尔滨工业大学机电学院 周岩 3 3 文摘 介绍了石英摆片磨料喷射加工 、超声波加工等成形工艺 ,并在此基础上 ,提出了用 CW CO2 激光器切割石英摆片的新方法 ,给出了石英摆片激光切割的主要切割参数 ,并对使用 不同成形切割方法切割石英摆片的切割质量 ,进行了比较和分析 。 主题词 石英摆片 磨料喷射加工 超声波加工 激光切割 形小 、热影响区小 、质量高 、成本低 、效率高 、 1 前言 切割范围广等特点 ,因此 ,激光切割加工技术 已开始广泛应用于航空航天 、电子 、食品 、医 药 、纺 织 、汽 车 工 业 等 方 面〔2〕〔3〕。石 英 摆 片 作为航空航天领域的重要部件 ,将激光切割 技术应用于石英摆片的成形切割中 ,对于提 高加工质量和加工效率都具有极其重要的意 义 。本文主要介绍石英摆片的中心孔 、三窗 口和 C 形槽 (图 1 中阴影部分) 的加工工艺 。 石英挠??加速度计作为惯性导航仪表或 遥控遥测仪表 ,在航天 、航空技术领域占有非 常重要的地位 。石英摆片是石英挠性加速度 计的核心器件 ,起敏感加速度的作用 ,因此 , 研究石英摆片的制造工艺具有十分重要的意 义 。而石英摆片的制造工艺 ,特别是摆片的 中心孔 、三窗口和 C 形槽等部分的加工工艺 一直是摆片制造的难点 ,国内大都采用超声 波加工 ,国外则采用主要磨料喷射加工的方 法〔1〕。这些方 法 在 不 同 程 度 上 都 存 在 某 些 不足之处 ,改进现有的石英摆片加工工艺在 实际生产中已显得尤为重要 。 激光切割技术应用始于 60 年代 ,是美国 在金属丝的金刚石钻孔加工中首先采用的 。 70 年代初 ,美国研制出了供金属加工用的大 功率 CO2 激光机 ,进入了板料激光切割的工 程实用阶段 。利用这种先进的热切割方法 , 图 1 石英摆片的外形图 2 现有加工方法的比较分析  稳定性等特点 。例如上海石英玻璃厂生产的 J GS1 ,其线膨胀系数为 5 . 4 ×10 - 7 / ℃。石英 摆片的形状如图 1 所示 。由于石英玻璃属于 高硬度 、高熔点的脆性苍料 ,因此 ,一般加工 方法很难满足其加工要求 ,需要采用特种加 工技术 。 石英摆片的现有加工方法主要有以下几 种〔4〕: a . 磨料喷射加工化学蚀刻法 ; b. 超声落料机械研磨法 ; c. 超声落料化学蚀刻法 。 2 . 1 磨料喷射加工化学蚀刻法 森德斯坦德公司是美国制造航空设备的 主要公司之一 。该公司自 70 年代以来开始 研制和生产石英挠性加速度计 ,是最先生产 石英挠性加速度计的公司 。森德斯坦德石英 挠性加速度计是用磨料喷射加工化学蚀刻法 成形的 ,该方法使用了化学腐蚀法和喷射切 槽法加工摆片的中心孔 、三窗口和 C 形槽 其加工工艺流程图如图 2 所示 。 图 2 磨料喷射化学蚀刻法加工工艺流程图 摆片的三窗口是使用化学方法加工的 , 腐蚀前需要胶保护 。胶保护是机械保护法 , 用硅橡胶作 为 橡 皮 垫 , 外 圆 定 位 , 周 围 腊 保 护 ,放入腐蚀液腐蚀 。腐蚀后 ( 双面腐蚀) 留 有毛边 ,因此 ,还需采用激光修边 。激光修边 采用的是 30 W CO2 激光加工机 ,激光修边大 大提高了摆片的耐冲击性能 。 C 形槽和中心孔采用喷射切槽法 ,喷射 切槽用压缩空气 ( 3 . 5 ～ 6 个大气压) 将磨料加速从直径为 0 . 5 mm 的小孔中喷出 , 速度接近声速 , 高速射 流是对工件进行破碎磨削 。由于喷射切槽放 在抛光之后 , 容易“钻蚀”, 以 至 损 坏 抛 光 表 面 。此外 ,喷射加工材料除去率很低 ,加工一 个 C 形槽和一个孔需要 20 多分钟 。喷射磨 料采用的是白色碳化硅 ,最佳的喷射流量是 8～ 10g/ min ,因此加工一片大约需要 160 ～ 200g 碳化硅 。而这种磨料只能用一次 ,这必 然提高加工成本 。而且由于加工三窗口 、C 形槽及中心孔均需掩膜 ,装夹次数过多 ,定位 困难 ,很容易造成中心质量圆盘偏心 ,难以保 证质量 。 2 . 2 超声落料机械研磨法 我国自 1979 年开始研制石英摆片的加 工工艺 。由于石英加速度计在惯导等技术上 的重要作用 ,因此被美国列为对我国的禁运  的 。该加工工 艺 基 本 上 采 用 光 学 加 工 的 方 法 ,其生产工艺流程如图 3 所示 。此法工艺 简单 ,所需设备少 。但由于此法将超声成形 放在抛光之后 ,影响表面质量 ,产生划痕 ,有 崩边现象 ,且超声落料加工精度不高 。该工 艺有很多不成熟的地方 ,尚不能应用于实际 生产 。 加工的频率范围宽 ,摆片成形工具经过多次 磨损和修整后仍能使用 。在加工过程中 ,变 幅