真空泵的市场展望研究.pdfVIP

真空泵的市场展望 王斌 (国投南光有限公司 四川成都610062) 1概述 真空设备已广泛应用于科研、军事、经济领域，作为真空设备最基础的元件之一真空泵， 也从单一的行业应用到经济发展的各行各业。 1 1 常用真空度量单位 毫米汞柱(mmHg)标准大气压(atm) 托(Tort)帕斯卡(Pa) 巴(bar) 毫巴(mbar) bar) 微巴(Lt 工程大气压(kgf／cm2，at) 英寸汞柱(inHg) lbar=1000mbar iTorr=133PaITorr=1．33mbar ITorr=ImmHg 1Pa：l N／m2 latm=760mmHg 1 2 真空泵的分类 1 2．1按真空度范围划分 36 I．2．2按工作原理划分 原理 类别 工作范围(Pa) 备注 变 气 往复泵 102～105 ① 容 体 渣环泵 102～10s 的 式 膨 油封机械泵 10一l～105 胀 罗菠泵 10‘3～105 ① 与 爪型泵 10一l～10s ① 压 缩 涡旋泵 10一l～10s ① 螺杆泵 10一I～105 ① 动 粘滞 蒸汽喷射泵 101～105 量 效应 永喷射泵 t03～105 产生 铸 的 空气喷射泵 103～10s 输 曳力 油蒸汽喷射泵 10—1～10—2 式 扩散效应产 油扩散泵 10‘～10—5 生的曳力 分子牵引力 分子泵 lO一2～10—9 捕 电离效应 离子泵 10—2～10—9 集 物理 吸5fi泵 10。2～10s 式 化学 升华泵 10—2～10—9 吸附 低温泵 10—2～10—9 备注：①干泵 2真空泵市场发展状况 2 T 全球各类真空泵市场变化、主要原因和发展前景 真空泵的市场是根据用户的需要而发生动态变化的，目前市场增长的主要驱动力来源于 半导体产业的迅速发展以及干泵、分子泵、低温泵应用领域的日益扩大- 在国外，半导体设备、镀膜装置、排气系统等领域都用分子泵代替扩散泵。尤其是溅射 刻蚀和LVCD等装置都采用复合分子泵、牵引型分子泵作为主泵。分子泵的应用在国外极为普 及。 低温泵工作压力范围宽、抽速大、清洁无油、无运动部件并能抽除有毒有害气体，特别 对于水蒸气有很高的抽气能力，对于制备高质量薄膜非常有利。在国外的半导体、液晶显示 及光学薄膜等领域，大多采用低温