第十章 电子探针显微分析.ppt

第十章 电子探针显微分析 山东科技大学材料学院 吴杰 电子探针X射线显微分析，简称电子探针显微分析（EPMA），功能主要是进行微区成分分析。 原理是用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或特征能量）即可知道样品中所含元素的种类（定性分析），分析X射线的强度，则可知道样品中对应元素含量的多少（定量分析）。 电子探针仪镜筒部分的构造大体上和扫描电子显微镜相同，只是在检测器部分使用的是X射线谱仪，专门用来检测X射线的特征波长或特征能量，以此来对微区的化学成分进行分析。 除专门的电子探针仪外，有相当一部分电子探针仪是作为附件安装在扫描电镜或透射电镜镜筒上，以满足微区组织形貌、晶体结构及化学成分三位一体同位分析的需要。 电子探针的镜筒及样品室和扫描电镜并无本质上的差别，因此要使一台仪器兼有形貌分析和成分分析两个方面的功能，往往把扫描电子显微镜和电子探针组合在一起。?? 电子探针的信号检测系统是X射线谱仪，用来测定特征波长的谱仪叫做波长分散谱仪（WDS）或波谱仪；用来测定X射线特征能量的谱仪叫做能量分散谱仪（EDS）或能谱仪。 一、波长分散谱仪（波谱仪WDS） 在电子探针中X射线是由样品表面以下一个微米乃至纳米数量级的作用体积内激发出来的，如果这个体积中含有多种元素，则可以激发出各个相应元素的特征波长X射线。 若在样品上方水平放置一块具有适当晶面间距d的晶体，入射X射线的波长、入射角和晶面间距三者符合布拉格方程时，这个特征波长的X射线就会发生强烈衍射。 在作用体积中发出的X射线具有多种特征波长，且它们都以点光源的形式向四周发射，因此对一个特征波长的X射线来说只有从某些特定的入射方向进入晶体时，才能得到较强的衍射束。 不同波长的X射线以不同的入射方向入射时产生各自衍射束。若面向衍射束安置一个接收器，便可记录下不同波长的X射线。 分光晶体作用：使样品作用体积内不同波长的X射线分散并展示出来。 缺点：收集单波长X射线的效率非常低。 约翰（Johann）型聚焦法 虚线圆称为罗兰（Rowland）圆或聚焦圆。把单晶体弯曲使它衍射晶面的曲率半径等于聚焦圆半径的两倍，即2R。当某一波长的X射线自点光源S处发出时，晶体内表面任意点A、B、C上接收到的X射线相对于点光源来说，入射角都相等，由此A、B、C各点的衍射线都能在D点附近聚焦。从图中可以看出，因A、B、C三点的衍射线并不恰在一点，故这是一种近似的聚焦方式。 约翰逊（Johansson）型聚焦法 把衍射晶面曲率半径弯成2R的晶体表面磨制成和聚焦圆表面相重合（即晶体表面的曲率半径和R相等），这样的布置可以使A、B、C三点的衍射束正好聚焦在D点，所以这种方法也叫做全聚焦法。 电子探针中，一般点光源S不动，通过改变晶体和探测器位置达到分析和检测的目的，根据晶体及探测器运动方式，可将波谱仪分为回转式波谱仪和直进式波谱仪。 回转式波谱仪 聚焦圆的圆心O固定，分光晶体和检测器在聚焦圆的圆周上以l：2的角速度运动，以保证满足布拉格方程。?? 这种波谱仪结构简单，但由于分光晶体转动而使X射线出射方向变化很大，在样品表面不平度较大的情况下，由于X射线在样品内行进路线不同，往往会因吸收条件变化而造成分析上的误差。 直进式波谱仪 X射线照射分光晶体的方向是固定，即出射角保持不变，这样可以使X射线穿出样品表面过程中所走的路线相同，也就是吸收条件相等；?? 分光晶体位置沿直线运动时，晶体本身应产生相应的转动，使不同波长的X射线满足布拉格条件，位于聚焦圆周上协调滑动的检测器都能接收到经过聚焦的不同波长的X射线。 Li是点光源到分光晶体的距离，可以在仪器上直接读得；聚焦圆的半径R已知；所以由Li→θ；再根据布拉格方程 分光晶体的晶面问距d已知, 便可求出对应的特征X射线波长λ。 在直进式波谱仪中，特征X射线的波长直接与分光晶体和点光源间的距离成正比，L由小变大意味着被检测的X射线波长λ由短变长，改变L就能检测到不同波长，即不同元素的X射线。 分光晶体沿直线运动时，检测器能在几个位置上接收到衍射束，表明试样被激发的体积内存在着相应的几种元素。衍射束的强度大小和元素含量成正比。 2、WDS元素分析注意问题 分光晶体固定后，衍射晶面的面间距不变。在直进式波谱仪中，L和θ之间服从L＝2Rsinθ的关系。因为结构上的限制，L不能做得太长，一般只能在10～30cm范围内变化。在聚焦圆半径R＝20cm的情况下，θ的变化范围大约在15°～65°之间。 可见一个分光晶体能够覆盖的波长范围是有限的，因此它只能测定某一原子序数范围的元素。如果要分析Z=4～92范围的元素，则必须使用几块晶面间距不同的晶体，因此一个谱仪中经常装有两块晶体可以互换，而一台电子探针仪上往往装有2～6个谱仪，有时几个