球面镜数控加工中安装误差在线检测及补偿-中国数控机床技术领域.PDFVIP

第27卷 第7期 电子测量与仪器学报 ％f．27 No．7 · 676· ‘ JoURNALOFEl置CTRoNICMEAsUREMENTAND INsTRUMENT 2013年 7月 DOI：10．3724／SP．J．1187．2013．00676 球面镜数控加工中安装误差在线检测及补偿米 刘 健 王绍治 张玲花 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室 长春 130033) 摘 要 ：在光学元件的数控加工中，面形精度是工艺流程的关键指标 ，而工件的安装误差是影响面形精度的重要因素。基 于数控机床的在线检测功能研究了球面光学元件的安装倾斜误差 自动补偿问题。首先 ，基于球面工件安装倾斜的几何模 型，将误差的补偿问题转化为工件的球心位置检测问题。然后，根据球面工件测点的同心圆布置算法以及法向探测方式 实现球面检测，进而应用最小二乘拟合算法计算球心位置。最后，在 口径为280mm，曲率半径为519．796mm的凹球面光 学元件上进行了验证实验，补偿前后表面最大偏移误差由621．6 m降低至2．8txm。实验结果表明：应用所述算法，可以 高效地实现球面安装误差高精度自动补偿 。 关键词 ：光学制造；在线检测 ；安装误差；数控加工 中图分类号：TG54 文献标识码 ：A 国家标准学科分类代码：460．50 On-lineinspectionandcompensationforassemble errorin CNC fabricationofsphericallens LiuJian WangShaozhi ZhangLinghua (TheStateKeyLaboratoryofAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptics， FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofScience，Changchun130033，China) Abstract：SurfaceshapeaccuracyisakeyqualificationinopticalCNCfabricationprocess，andassembleerrorof workpieceisasignificantfactorinfluencedonsurfaceshapeaccuracy．Automaticcompensationforassembletilter— rorofsphericalopticalelementwasresearchedbasedonon-machineinspectionfunctionofCNC machinetoo1． First，theerrorcompensationproblem wasconvertedtothemeasurementeventofspherecenterposition，whichis basedonthegeometricalmodelofthesphericalopticalelementassembletilt．Andthen，sphericalsurfacewas measuredwiththesamplingpointsplanningalgorithm，whichweredistributedonconcentriccircles，andthenormal inspectionmethod．Thespherecenterpositionwascalculatedwithleastsquaresfittingalgorithm．Finally，anex— perimentwascarriedoutonasphericalopticalelement．Theapertureandradiusofthiselementwas280mm and 519．76mm，respectively．Themaximum deviationerrorreducedfrom 621．6Ixm to2．8 Ixm．Theexperimentresult indicatesthathighpreciseautomat