钙钛矿氧化物薄膜和异质结的外延生长与物性研讨.pdfVIP

第21卷第2期 量子电子学报 v01．21NO．2 JOURNALOF ELECTRONICS 2004年4月 CHINESE QUANTUM Apr．2004 文章编号； 1007-5461(2004)02-0181-07 钙钛矿氧化物薄膜和异质结的外延生长与物性研究 杨国桢 (中国科学院物理研究所光物理实验室，中国科学院凝聚态物理中心， 北京 100080) 摘 要： 用激光分子束外延，原子尺度控制的外延生长出多种钙钛矿氧化物薄膜和异质结．原子力显微镜 和高分辨透射电镜测量结果表明，薄膜与异质结的表面和界面均达到原子尺度的光滑．制备出在可见光波段透 过率大于85％的导电氧化物薄膜；物性研究结果表明，随着含氧量的不同， BaTi03薄膜具有绝缘体、半 导体和导体的不同特性． 制与正磁电阻效应．在255K条件下，当外加磁场分别为5和1000 P—n结的磁电 Oe时，LSMO／SNTO 46．7％和83．4％；在外加磁场为3T时，在100 阻变化率R／Ro达到： K条件下，在LSMO／SNTO多层 P—n异质结上观测515％的正磁电阻变化率． 关键词：薄膜光学；钙钛矿氧化物；薄膜；异质结 中图分类号：0484．1；0484．4文献标识码：A 1 引 言 自从高温超导和巨磁电阻现象发现以来，在世界范围内掀起了钙钛矿氧化物材料的研究热潮，无论是 新材料的探索和研究，还是相关理论研究，都取得了很大的进展。尤其是二十世纪90年代激光分子束外延 技术的出现，原子尺度控制的层状外延生长钙钛矿氧化物薄膜材料【1~3|，更引起了固体物理和材料科学 研究领域的极大兴趣。钙钛矿结构氧化物(AB03)具有介电、铁电、压电、热电、光电、超导、巨磁电阻及 光学非线性等非常丰富的特性和效应，若将不同类型的同一性质或不同性质的氧化物叠层外延在一起，甚 至量子尺度的制备成超晶格材料，不仅可研制具有光、磁、电等各种特珠功能的新型材料和器件，还很可 能会出现一些新奇的现象和效应。若把具有光、磁、电等功能特性的器件结构与锗硅等叠层外延在一起， 既可实现功能器件与大规模集成电路的集成和一体化。因此人们预言：在不久的将来，将会出现氧化物物 理学和氧化物电子学。 随着新型薄膜材料的探索与薄膜特性研究的逐步深入，不同类型和不同结构器件的探索工作也逐渐 地制备出原子尺度控制外延生长的、具有介电、铁电、导电、超导、巨磁电阻等不同特性的钙钛矿结构氧 化物薄膜二十多种[19“23]。已用具有巨磁电阻、铁电、超导等特性的钙钛矿氧化物薄膜制备出几种全氧化 24”26】。在本文中，将重点介绍我们在钙钛矿氧化物 物p-n结结构，并观测到较好的p-n结J—y特性[19 薄膜与异质结外延生长和物性研究的工作。 基金项目：国家重大基础研究发展规划资助项目(G1998061412) 收稿日期：2003—12-01 E-maih Yanggz@aphy．iphy．aE．cn 182 量 子 电 子 学 报 21卷 2 原子尺度控制钙钛矿氧化物薄膜与异质结的层状外延生长和结构特性研究 用激光分子束外延技术，我们已成功地制备出具有介电、铁电、巨磁电阻、导电、超导和光学非线性 RHEED oscillationsofthe of A RHEED oscillationsof Fig．2 intensity epitaxy Fig．1 part intensity SrTi