电液动力微泵的实验分析研究.pdfVIP

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号：083063 电液动力微泵的实验分析 于翮 张强 俞坚 马重芳 北京工业大学环境与能源学院 强化传热与过程节能教育部重点试验室， 北京， 100023 （Tel：0108210， E-mail: yuh@emails.bjut.edu.cn） 摘要：本实验运用MEMS 技术在硅片上加工了一种新型电子冷却微泵—电液动力微泵，微泵有一组平 面电极组成，施加直流来驱动流体。相关实验研究表明微泵的性能与施加电压、工作介质，电极结 构和材料以及工作环境有关。 关键词：电子冷却；微型电液动力泵；实验分析； 1 前言 随着MEMS 和微加工技术的发展和成熟，基于MEMS 加工技术的的电液动力微泵， [1] 被认为将在微流体冷却系统占有重要地位 。电液动力泵具有无运动部件，运行可靠， 低耗，容易制作和无需维护等优点；并且可以直接同芯片或流道集成，无需独立空间； 采用直流驱动，不产生附加磁场，不会干扰电子元件工作。电液动力微泵不仅被认是 解决微电子行业中高热流器件的冷却问题的一个突破，还可以被运用在微流体冷却系 [2] 统，药物输送和微机电系统等领域 。 [3-6] 电液动力泵的研究由来已久，早期的电液动力泵所需的电压较高 ，从几百伏到 几十千伏，如果想使电液动力泵有更好的性能和较低的工作电压就必须降低电极的间 距；但在当时的制作工业条件下，小于毫米极的电极外形和间距的生产还是不可能的。 90 年代后，随着MEMS 技术的兴起，研究人员将MEMS 和微加工技术引入电液动力微泵 的设计制造，使电液动力微泵的尺寸和外加电压都大大减小，从而使电液动力泵的研 究工作进入了微尺度领域。越来越多的研究学者从电极几何结构、形状、电极之间的 [7-10] 间距、工作介质等各个方面，研究了以上因素对于电液动力泵进行了研究 。 电液动力现象是指电场作用下，电介质流体和电场之间相互作用，它即要考虑电 场对流体介质的作用；同时也需要考虑运动介质中的电动力学。忽略磁场的影响，流 [7] 体所受到的体积力如下式所示 ：     1 2 1 2  f qE  E   E   （1） e 2 2        T  其中 是电荷密度，E 是电场强度， 是流体的介电常数， 是流体密度，T 是 q  流体温度；第一项是库仑力，是作用于流体中存在自由电荷和带电微粒的驱动力。第 二项是介电泳力，只有在两相或者非等温流体中，由于介电常数梯度变化而发挥作用。 第三项是电致伸缩力。当电场不均匀或流体可压缩时，这项力才存在。电液动力泵的 对象是均匀的、不可压缩的工作介质，库仑力在三种作用力中占主导地位。而介电泳 力和电致伸缩力在通常条件下可以被忽略不计。 基金项目：国家自然科学基金资助项目） 如图1所示，在电液动力泵的电极上施加直流电压时，阳极边缘注入阳离子，把 阳极作为发射极；注入的阳离子被驱