电磁微马达驱动微泵研究.pdfVIP

电磁微马达驱动微泵 章吉良 杨春生 赵小林 张卫平 蔡炳初 (上海交通大学微纳米科学技术研究院，“薄膜与微细技术”教育部重点实验室，上海 200030) 摘 要: 在生物医学、化学液体的流I检侧与分析及固态元器件冷却等领域中，均需要 流圣的精细控制和检测系统.在这类流童精细控制和检测系统中，徽小型泵是一个墓本元件。 作者利用上海交通大学研制成功的直径为2二 的电磁型很马达作驱动源，并配以电火花加工 工艺制备的蜗壳和Ti合金叶轮制成旋转式微泵.微泵的外形尺寸为中4.5x6.5mm，最大流蚤 可达12mlZmin，流量可根据马达转速进行调节. 关健词:电磁型微马达;Ti合金叶轮;旋转式微泵 I引言 在生物医学、化学液体的流量检测与分析及固态元器件冷却等领域中，均需要流量的精 细控制和检测系统，例如在生物医学中，糖尿病人以往都是一次注射较大剂量的胰岛素，这 不仅造成浪费，而且药效作用时间也较短，因此极需要一种流量能微量控制的持续的滴液装 置。在这类流量精细控制和检测系统中，微小型泵是一个基本元件。 本文所研制的微马达驱动旋转式微泵，其工作原理类似于传统的旋转式泵，不仅能精细地、 连续地、平滑地控制流量。而且其最大流量也远远大于容积式微泵。本文利用上海交通大学 研制成功的直径为2mm的电磁型微马达作驱动源，改进该马达的绝缘，配以蜗壳和叶轮制成 旋转式微泵，外形尺寸为b(4.5X6.5mm，当马达转速为12000rpm时，最大流量可达12ml/min, 流量可根据马达转速进行调节。 2工作原理及基本参数估算 微泵的工作原理类似于传统的旋转式泵，如图1所示，主要由微马达、蜗壳、叶轮、轴 和轴承等几部分组成。微马达通过轴和轴承带动叶轮旋转。本文采用轴向进水，径向排水方 式。以微细加工工艺制备的尺寸为2.3X2.3X1.5。的电磁型微马达作为驱动源，通过。0.2mm 的轴和。0.5mm的轴承带动钦合金叶轮旋转，水泵工作时，叶轮的最高转速可达12000转/分。 整个水泵的外形尺寸。4.5X6.5mm.旋转式微泵泵体的主要部件是叶轮和涡壳，其形状如图2 所示。 根据有关资料m，为达到最大流量、最高扬程和最高效率，我们选择叶轮的叶片数为6. 根据微马达输出力矩大小，根据实验结果叶轮外径为3.Omm。叶轮的根圆直径为1.2mm,厚度 为0.8。。为了与微马达的输出轴直径匹配，同时也受制于目前的加工条件。将叶轮的内孔直 径选为0.5mm。每个叶片对中心的张角为12，因此叶轮的占空比(叶轮空隙部分面积与叶轮 外径至根圆之间的环形面积之比)为0.8。根据实验结果，蜗壳的内径为3.5mm，与叶轮外径 相差0.5mm，外径为4.5mm.进水口直径lmm，出水口直径为0.6mm，出水口位于叶轮旋转方 向的切向，以达到最小的阻力。 泵的基本参数，如体积流量Q、扬程H、转速n、汽蚀余量NPSH、功率和效率等，有些 是可以在理论上粗略估算的，但最终的正确值，都应由实验取得。 195 亡或 入 口 图1微泵结构 图2叶轮及涡壳形状 ^.体积流t 本文设计的旋转式微泵，墓本上属于叶片式泵类型。但与传统的叶片式泵相比，更为简单。 计算流量的方法有多种，这里采取两种方法进行比较，一种是估算进出水口直径限制的流量 Q:为36ml/min，另一种是计算由叶轮每分钟带出的流量Qz为46ml/min.实际的流量应小于Q[和 Q:之间的最小值，也就是说，应小于36ml加in。这是由于在Q，和QI的估算中，均未计及各类 损失，如机械损失、摩擦损失、叶轮进出口损失、壳体损失、泄漏损失等w B.出水口压力的估Wm 出水口压力: Pa=C,TQxN (1) Q 式中P.为出水口压力，C为常数:T，为马达扭矩.N为转速，Q为流量。在设计中取C=1,T,=2.8 微牛顿米，n=12000转/分，Q=12毫升/分，则P.=2