半导体激光器光纤耦合中的光束整形技术研究.pdf

2003年十一省(市)光学学术会议论文集 半导体激光器光纤耦合中的光束整形技术 王锋 武汉凌云光电科技有限责任公司，武汉市建设大道417‘■武汉430030 电话(传真)：027Email：fwang@lype．com．cn 摘要简要地介绍了目前大功率半导体激光器Bar的光纤耦合中的光束整形技术，包括光纤束法和整形耦合法。 其中重点地介绍了整形耦合法中的两步重排整形法和一步重排整形法。光纤束法的优点是思路简单，但光纤的芯 径比较柑。整形耦合法中必须使用整形光学，但可以实现较细光纤芯径的耦合．因而亮度更高。 关键词半导体激光器，光纤耦合，光束整形，重排 1．引 言 业j_l{I半导体激光器的功率在最近的几年里得到了很大的提高，其直接应用也日渐成为一个热点，如在 美容、医疗、材料处理上的应用。大功率二极管的光束质量很差，在两个方向上的发散性差异很大， 很难用普通的光学系统得到高亮度激光。一个较好的解决办法是把光耦合到光纤中，不仅实现柔性传 输，增加使用的灵活性，而且可以直接应用于本身就需要光纤的场合，如医疗、美容、材料处理、泵 浦激光器等Ill。 本文介缁人功率半导体激光器条形Bar的光纤耦合技 术，尤其是光束整形技术。 2．半导体激光器条形Bar 大功率二极管的光束质量很差，在两个方向上的发散 性差异很人，如图1所示。对于一个数十瓦的条形巴，一 组典型的参数为：巴由19个单管半导体激光器组成，每个 图1人功率半导体条形Bar的结构示意图 单管的长度为150微米，相邻单管之间的距离为500微米。激光在快轴方向上的发散角为400，慢轴 方向上的发散角为60。M平方因子为 兀coe 7c X X．rt 60／1800 x5000／．un M2 =2030，∞口=524mm。mrad(1) =一g。。。。。‘。。。‘1。’’‘。。。。。。。。。。。。。。‘‘。。1。’‘‘。。。。。。。‘一A 0．81／．an 这样差的光束质量，不仅无法直接应用，而且无法用简单的透镜耦合法直接耦合到一根小于 4．8mm、NA=O．22的光纤中。需要注意的是上述计算中包含了LD发光元之间的间隙对光束质量的影响。 如果剔除间隙的影响，则有： x150／an M2：19×丝；19×—z x—6。／180。xz：579， (2) A 0．811*m 麓。 2．半导体激光器条形Bar的耦合方案 2．I光纤求法 驾 。 。 l 早期的耦合采用的是光纤束的方法【2I，耦合 LD 的工作原理示意图如图2所示。 纛 bar Fiberbundle ③ 对于组成Bar的数十个LD发光元，在经过 图2光纤柬耦合法 338 2003年卜一省(市)光学学术会议论义集 快轴成象之后，每个发光元的光耦合进一根光纤， 数十根光纤的输出端排列成圆形的光纤束。如果想 得到小的输出截面，单根光纤的芯径就必须很细。 因此， Bar的数}‘个LD发光元在慢轴方向上常常 也必须单个地聚焦进光纤。采用这 麟i 种方法的产品的例子有中科院半导 受；鲻蘩； BemllVOC]瞪S