集成电路设计技术与工具(CAD)--第5章集成无源器件版图设计.ppt

第5章 集成无源器件版图设计 5.1 引言 5.2 薄层集成电阻器 5.3 有源电阻 5.4 集成电容器 5.5 电感 5.6 互连线 5.7 传输线 5.1 引 言 5.2 集 成 电 阻 器 薄层集成电阻器 薄层集成电阻器 薄层电阻的几何图形设计 5.4.3 PN结电容 5.4.4 MOS结构电容 MOS结构电容 MOS结构电容 5.5 电 感 5.5.2 传输线电感 5.6 互 连 线 5.7 传输 线 5.7.3 共 面 波 导 共 面 波 导 * 集成电路可以认为是由元器件组成的。元器件可以分为 无源的和有源的两类。集成电路中的无源元件包括电阻、 电容、电感、互连线、传输线等，有源器件就是各类晶 体管。 本章我们将重点给出集成元器件版图常见图形及设计原则。 集成电路中的电阻分为 ： 无源电阻 通常是合金材料或采用掺杂半导体制作的电阻 有源电阻 将晶体管进行适当的连接和偏置，利用晶体管的不 同的工作区所表现出来的不同的电阻特性来做电阻 合金薄膜电阻 多晶硅薄膜电阻 采用一些合金材料沉积在二氧化硅或其它介电材料表面上，通过光刻形成电阻条。常用的合金材料有： （1）钽（Ta）； （2）镍铬（Ni-Cr）； （3）氧化