传感器原理及应用(第三版)第2章PPT.ppt

应变相等，而在边缘处最大，在 处为零，故贴片时应避开 处，一般在圆中心处沿切向贴两片，在边缘处沿径向贴两片 。应变片R1R4和R2R3接在桥路的相对臂内，以提高灵敏度与进行补 偿。 〈四〉应变式加速度传感器 这是种惯性式传感器。把传感器固定在被测试件上，当有加速 度a时，悬臂梁受力 方向为-a方向，应变片变形，输出电 压（大小与加速度a成正比）。 如图： 上一页 下一页 返 回 2-2 压阻式传感器 所谓压阻式传感器即利用硅的压阻效应和微电子技术制成的传 感器，它具有灵敏度高、动态响应好、精度高、易于微型化和集成 化等特点。 一、压阻效应 单晶硅材料在受到应力作用后，其电阻率发生明显变化，这种 现象称为压阻效应。对于一细长（条形）半导体材料，其电阻变化 率有： 对于金属可言dρ/ρ较小，可忽略不计：即 而对半导体则不同：因为 （较大，不可忽略） 上一页 下一页 返 回 传感器原理及应用 第二章 应变式传感器 第二章 应变式传感器 2-1 金属应变片式传感器 一、金属丝式应变片 二、金属箔式应变片 三、测量电路 四、应变式传感器 2-2 压阻式传感器 一、压阻效应 二、晶向、晶面的表示方法 三、压阻系数 四、固态压阻器件 上一页 下一页 2-1 金属应变片式传感器 金属应变片式传感器的核心元件是金属应变片，它 可将试件上的应变转化成电阻变化。 它有以下优点: ① 精度高，测量范围广； ② 频率响应特性好； ③ 结构简单，尺寸小，质量轻； ④ 可在高（低）温、高速、高压、强烈震动、强磁场及核辐射和化学腐蚀等恶劣条件下正常工作； ⑤ 易于实现小型化、固态化； ⑥ 价格低廉，品种繁多，便于选择。 存在下列缺点： ① 大应变时存在明显非线性 ② 输出信号弱，抗干扰能力差 ③ 测量仅局限于应变片部位，周围情况不能表达 总之，通过一些补偿措施，应变式传感器仍不失为非电量电测 中最常用的敏感器件。 上一页 下一页 返 回 一、金属丝式应变片 〈一〉应变效应 设一根长度l，截面积S，电阻率为 的金属丝，其电阻 两边取对数： 两边微分： 其中: ——截面积相对变化( )。 根据《材料力学》可知：在材料的弹性范围内，长度方向伸长 时，径向（横向）尺寸缩小，反之也然，关系是泊松比 。 根据实验得如下关系：（电阻率 的相对变化与体积相对变化 有关系） （C金属材料某常数，与金属本身特性有关） 上一页 下一页 返 回 ：长度方向相对变化，称轴向应变 ； ：半经方向相对变化，称经向应变 ； 可以证明： 〈三〉主要特性 1．灵敏度系数（K） 当金属丝做成应变片后，其电阻—应变特性，与金属单丝情况 不同（即 ），必须用实验方法对应变片的电阻—应变特性 重新测定。 实验条件： ①试件受一维应力作用，应变片的轴向与主应力方向一致； ②试件材料的泊松比为0.285的钢材。 实验结果：表达式形式不变即 （实验结果) 但K值恒小于Ks，原因除胶层传递变形失真外，横向效应等多 种因素影响，看看什么是横向效应？即主要特征的第二个参数。 上一页 下一页 返 回 2．横向效应： 敏感栅在半圆弧部分，除了轴向应变起作用外横向应变也将使 半圆弧部分电阻发生变化，应变片这种即受轴向应变影响，又受横 向应变影响而引起电阻变化的现象称为横向效应。 设：应变片有n根纵栅，栅长 ； 则：有n-1个半圆弧，半径r； 纵栅全部变形： ；圆弧全部变形： 由《材料力学》可知在任一微分小段长度 上有： 则： 上一页 下一页 返 回 敏感栅总长度L，敏感栅（材料）的灵敏系数Ks，则电阻相对变为： 令： ……称轴向灵敏系数 ……称横向效应系数 定义： ……称横向效应系数 由此可见：r愈小，