第五章光纤传感技术及其应用 12次课PPT.ppt

干涉式光纤陀螺分类 光纤陀螺按光路系统可分为全光纤陀螺和集成光学光纤陀螺 1．全光纤陀螺 全光纤陀螺是指构成光纤陀螺光路的所有器件都由光纤构成，并串接在一根光纤上，即由光源到探测器组成一个光纤闭环光路。 干涉式光纤陀螺分类 2．集成光学光纤陀螺 　　集成光学光纤陀螺，利用集成光学波导技术，将光纤陀螺用的功能器件，包括分路器、偏振器和调制器都集成在一块铌酸锂波导芯片上，使光纤陀螺的光路系统简化成由光源、探测器、光纤圈及波导芯片构成。 光纤器件介绍 光纤陀螺按光路系统可分为全光纤陀螺和集成光学光纤陀螺 1．光源 半导体激光器（LD） 发光二极管（LED） 超辐射发光二极管（SLD） 掺铒光纤光源 2．探测器 　　PIN光电二极管作为光纤陀螺光路系统的接收器件 光纤器件介绍 光纤陀螺按光路系统可分为全光纤陀螺和集成光学光纤陀螺 3．光纤定向耦合器 光纤器件介绍 4．光纤偏振器 光纤偏振器在光纤陀螺干涉光路中发挥起偏器和检偏器的作用可分为：（1）一种是利用光纤小直径弯曲时引起偏振分量损耗差制成的光纤圈型偏振器 ；（2）研磨光纤包层直至几乎将纤芯裸露，再将此研磨面镀以金属或双折射晶体，而制成的研磨型光纤偏振器。 光纤器件介绍 5．光纤消偏器 消偏器是一种造成非偏振态光的光纤器件 光纤器件介绍 6．光纤及光纤圈 通常使用的光纤，要求损耗低并具有良好的物理性能和机械性能 光纤器件介绍 7.集成光学芯片 光纤陀螺用的多功能集成光学芯片（IOC）是利用钛扩散技术和质子交换技术，将偏振器、分束／合束器和相位调制器都集成在LiNbO3晶片上。 基片的准备 : 27×6×1的铌酸锂基片。首先将基片按照下述过程进行清洗：甲苯浸泡 → 去离子水冲洗 → 丙酮超声 → 乙醇超声 → 去离子水冲洗→烘干基片表面。 镀铝:使用磁控溅射机对进行过清洗和烘干的铌酸锂基片镀铝 匀胶与曝光 显影与腐蚀 质子交换与退火 :设备为扩散炉 端面研磨与剖光 :用280#金刚砂进行粗磨，直至陪片和波导片的端面都已磨到，三个片子的端面都在同一平面上 → 用302#金刚砂研磨至少1个小时 → 用304#金刚砂研磨至少1个小时 → 用5μ研磨膏抛光约30分钟 → 用3μ研磨膏抛光约30分钟 → 用1.5μ研磨膏抛光约30分钟 → 用0.5μ研磨膏抛光约30分钟。 通光测试 :由于波长1.3μ的红外光肉眼是无法观察到的，为了方便光路的调整，本文首先采用了波长632.8nm的氦氖激光器做为光源进行通光测试。下图为通光测试的原理图。 3）频率调制光纤传感器 是一种利用单色光射到被测物体上反射回来的光的频率发生变化来进行监测的传感器。 有利用运动物体反射光和散射光的多普勒效应的光纤速度、流速、振动、压力、加速度传感器 利用物质受强光照射时的喇曼散射构成的测量气体浓度或监测大气污染的气体传感器； 利用光致发光的温度传感器等。 4）相位调制传感器 相位调制是光纤传感中最重要的传感技术，其基本的传感机 理是，在待测场能量的作用下，使光纤中传播的光波发生相位变 化，再以干涉测量技术把相位变化变换为振幅变化，实现对待测 物理量的捡测。 通常有利用光弹效应的声、压力或振动传感器；利用磁致伸缩效应的电流、磁场传感器；利用电致伸缩的电场、电压传感器以及利用光纤赛格纳克（Sagnac）效应的旋转角速度传感器（光纤陀螺）等。这类传感器的灵敏度很高。但由于须用特殊光纤及高精度检测系统，因此成本高。 ５）波长分布(颜色调制)传感器 　光纤传感器中的颜色调制，主要是利用传感探头的光频谱特 性随外界物理量变化的性质来实现的。可以作成各种光纤传感 器来检测物质的种类、浓度等化学量。 　通常的测试方法为；通过测量物质在化学反应时放出的光， 以及光入射到某种物质上时反射、折射光和透射光的强度随波长 的变化情况，可以得到组成物质的原子、分子的固有结构图案， 即物质的发光光谱、吸收光谱等。对光谱进行测量和分析，可以 研究材料的化学性质，这种光谱分析是化学分析的重要内容之一． 传感信号光纤传输网络 0～10mA 0 ～ 5V 光／电变换 计算机 电 阻 电 容 光纤传输网络 光纤 · 传输量大 · 传输距离远 · 不怕电磁干扰 · 接口方式齐全 电 感 电脉冲 光参量 光纤转速传感器 非接触测量方式 LED PIN 光纤 光纤流量发讯器 光纤负压报警器 光纤液位变送器 点式光纤液位传感器 适用于 高、低液位报警 密封加油控制 LED PIN 液体 LED PIN 液体 光 纤 液 位 传 感 器 光纤温度传感器 阻光型 LED PIN 光纤