研究报告气体放电研究报告.doc

气体放电研究报告 一、气体放电基本理论 1、气体放电的定义 气体放电是人们在自然界与日常生活中常常碰到的现象，如闪电、日光灯等，它一般是指在电场作用下或其他激活方法使气体电离，形成能导电的电离气体。气体放电是产生低温等离子体的主要途径。所谓的低温等离子体是区别于核聚变中高温等离子体而言的。低温等离子体物理与技术在经历了一个由20世纪60年代初的空间等离子体研究向80年代和90年代以材料及微电子为导向的研究领域的重大转变之后，现在已经成为具有全球影响的重要课题，其发展对于高科技经济的发展及传统工业的改造有着巨大的影响。 2、气体放电的基本理论 气体放电的经典理论主要有汤森放电理论和流注放电理论等。1903年，为了解释低气压下的气体放电现象，汤森(J．S．Townsend)提出了气体击穿理论，引入了三个系数来描述气体放电的机理，并给出了气体击穿判据。汤森放电理论可以解释气体放电中的许多现象，如击穿电压与放电间距及气压之间的关系，二次电子发射的作用等。但是汤森放电解释某些现象也有困难，如击穿形成的时延现象等；另外汤森放电理论没有考虑放电过程中空间电荷作用，而这一点对于放电的发展是非常重要的。电子雪崩中的正离子随着放电的发展可以达到很高的密度，从而可以明显的引起电场的畸变，进而引起局部电子能量的加强，加剧电离。针对汤森放电理论的不足，1940年左右，H．Raether及Loeb、Meek等人提出了流注(Streamer)击穿理论，从而弥补了汤森放电理论中的一些缺陷，能有效地解释高气压下，如大气压下的气体放电现象，使得放电理论得到进一步的完善。近年来，随着新的气体放电工业应用的不断涌现及实验观测技术的进一步发展，将放电理论与非线性动力学相结合，利用非线性动力学的方法来研究气体放电中的各种现象成为气体放电研究中的重要内容。 3、气体放电的主要类型 通常，低气压、低温等离子体是在1~100Pa的气体中进行直流、射频或微波放电产生的，而大气压下产生低温等离子体的主要方式有电晕放电、电弧放电和介质阻挡放电(DBD)。 比较而言，电晕放电比较微弱且产生的活性粒子效率较低而难以应用于工业生产。电弧放电则与此相反，由于产生的能量密度过高，导致电子与离子的能量较大足以损伤比较脆弱的工件。与此不同的是，介质阻挡放电能比较容易的产生非平衡等离子体，且等离子体的温度、密度适中。 应该说，从目前来看介质阻挡放电是主要的一种大气压放电的实现形式。介质阻挡放电是有绝缘介质插入放电空间的一种放电系统。由于介质的存在，可以限制电流的增长，使放电不至于形成火花放电或电弧放电。依赖于放电气体的种类、介质的属性及外加电压的幅值与频率，介质阻挡放电可以呈现三种不同的放电模式，即丝状放电、均匀放电与斑图放电。介质阻挡放电在大气压下通常表现为丝状放电，其放电能量大部分集中于放电细丝中，这限制了其工业应用前景。为此研究人员采用多种方法来提高其均匀性。近年来基于介质阻挡放电原理来产生低温等离子体，尤其是大气压下均匀辉光放电（APGD）的研究受到国内外关注。通常激励介质阻挡放电的电源是工频或高频交流电源，随着脉冲电源技术的发展，近年来脉冲高压也被用于激励介质阻挡放电，并被证明能较好地改善均匀性并提高放电效率。 4、气体放电的主要应用 气体放电产生的低温等离子体在材料改性、废水废气处理、灭菌消毒、薄膜生长、纳米粉末制备、等离子体显示和生物技术等领域有许多重要的应用，并逐渐显示出很好的经济效益，具有重大的研究价值和深远的研究前景。 二、研究现状 1、研究内容 在放电方式上，有电晕放电、弧光放电和介质阻挡放电，而尤以介质阻挡放电的研究居多。在介质阻挡放电的三种放电模式中，又尤以大气压辉光放电的研究最多。均匀辉光放电一般在惰性气体中相对容易实现，而在空气中除非采取特殊方式，如降低气压、火花预电离辅助、采用特殊结构电极等，否则放电多表现为丝状介质阻挡放电。为了在大气压下获得大面积均匀的等离子体，人们采用各种方法提高放电的均匀性和稳定性，这是国内外的研究热点，同时也是研究难点。 根据研究目的来分，气体放电的研究可分为理论研究和应用研究。 理论研究侧重于研究气体放电的物理过程、等离子体性质、放电机理及稳定机制，着重解决如何产生、稳定和控制等离子体的问题，探究各种放电的机理。 而应用研究则是在理论研究的基础上，研究低温等离子体在各种实际问题中的应用技术。应用研究多采用实验研究的方法，针对某一具体应用问题，设计相应的等离子体产生、控制装置，分析实验现象，评判实验效果，并设计出实用乃至工用的设备装置。 目前状态是，研究如何从技术上实现放电及放电的应用研究较多，但放电的物理过程、等离子体性质、稳定机制等相对研究较少。 2、研究方法 在研究方法上，有实验研究、数值模拟和仿真研究等。 1）实验研究 实验研究是