基于AFM调制电信号的矢量式纳米加工系统的开发及其应用 Developmentand and Application of Vector-mode Nanofabrication System by Modulating Electric Signals Based on AFM.pdfVIP

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2018-01-12 发布于上海
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基于AFM调制电信号的矢量式纳米加工系统的开发及其应用 Developmentand and Application of Vector-mode Nanofabrication System by Modulating Electric Signals Based on AFM.pdf

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基于AFM调制电信号的矢量式纳米加工系统的开发及其应用 Developmentand and Application of Vector-mode Nanofabrication System by Modulating Electric Signals Based on AFM

2叭3年2月航空精密制造技术 Feb2013 第49卷第1期 AvlA’noNPREClSIONMANUFACTURINGTECHNoLoGY y以49』v0．1 i鬻豢i；ij；誊； ij i i jiii?i薅鬻灏警誊“{琴童璺蠹”?譬i I；；‘j‘ 基于AFM调制电信号的矢量式纳米加工系统的开发及其应用木胡克想1，王庆康1，胡晓东2，吴森2 (1．上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室，微米／纳米加工技术国家级重点实验室，上海200240； 2．天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津300072) [摘要]在Digital 矢量式纳米加工系统，成功地实现了纳米量级结构的加工及对加工电路中微弱电流的精密实时探测，实现了对加工电压的实时精确测量及对电容效应的实时观测等。 [关键词]纳米加工；原子力显微镜；调制电信号；矢量式；实时测量；纳米光栅 [中图分类号]THl6 [文献标识码]A and ofVector—modeNanofabrication DeVelopmentandApplication System Electric BasedonAFM byModulatingSignals HU a1． Ke—Xiang，WANGQing—Kang，HUxiao—Dong，et for7IhinFilmandMicr()f如ricationof of MinistryEducation， (1．KeyI抽oR扯ory Technology National ofMicr0，NalloFabrication Jia0 200240 Key【丑boratory Technolog)r，Shan曲aiT0ngUniVersity，Shallgllai of 2．State PrecisionMeasurement 300072) KeyLaboratory 7rechnology蚰dInstlllments，Ti觚jinUniversity，Ti删in on山emultimodesPMof Instmment vector—mode [Abstract]BaLsed Di垂tal company，tlle nanomanufacturingsystembymodulating electric wit}latomicforce nanometer—scalesmlcmreshaVebeenfabri(：ated signals rnicmscoPy(AFM)wasdeVeloped．Many byusing tIlisnanometric real—timeelectriccurrentandtheactual befweenthe andthe machiningsystem．The f如而catingvoltage tip sampl