飞速发展的磁传感器研究.pdfVIP

中国电子学会’98敏感技术举术年会论文集 98年，月 飞速发展的磁传感番 涂有瑞 南京中旭徽电子有限公司 关锐询: 珍场，班性，传感幼，产业性应用 ‘产业化 摘要 信息产业的高垃发展和电子计算机的广泛应用，对传感每提出了迫切的.范田宽广、品种多 样的大级摇求.促进了传感招的飞遨发展。盛场侧t方法和仪份的发展为盛传感县的发展典定了 技术签础。先进的材料及工艺技术和产业性应用的大盆盆求相翰合，形成了磁传召招产业。本文简 要场评注磁传昭易的发展应用状况和产业化发展的一些阿魔. I发展蔺况 为适应日益发展的科研、生产和社会生活各方面的摇求，使陇传感器得到了飞速的发展， 形成了种臾公多的产品。 早先的磁传感器，是伴随侧磁仪餐的进步而逐步发展的.从本世纪六十年于lei园，在磁场 侧ti方法和侧磁仪器方面，已有许多作者进行了综述，[I],幻〔，(3],(4).在众多的洲盈 方法中，大都先进行磁电转换，将班场信息变成电讯号来进行洲f.这个转换器，在侧磁仪 洛中是 “探头，或 “取样装笠，，这就是磁传感器。这些文献大多对传感头的工作原理，设 林 皿 宙排 杆 了朴 场 _业 咐璐 怪 洲 番 的 心 田旅 了4甲七茂 随着信息产业、工业自动化、交通运物、电力电子技术、办公自动化、家用电器、医疗 仪器等等的飞速发展和电子计算机应用的普及，需用大里的传感器来将需进行侧t和控制的 非电参盘。转换成可与计算机兼容的讯号，来作它们的铂入讯号.因而促使各种传感器的快 速发展。磁传感器可将各种场合中的磁信息变成电讯号物出，且可以通过它们的读出电路或 讯号处理电路将枪出讯号变换成可与计算机接口的讯号.而且，还可使用磁场来作工作媒体， 将许多非电、非磁的信息.例如物体的位里、位移、运动的过度加速度、转速、角度、角速 度以及流速、流皿、力、力矩、转矩、应变、应力、压力等等转换成磁场的变化，用磁传感 器来进行趁翻。此外，随着材料和工艺技术的发展，人幻还利用某些材料，例如一些非晶金 属或合金产生的力一盛效应的逆效应，将机械变形产生的应力去影响材料的磁特性，使之产 生变化，趁出这些变化，来检侧机械特性，例如力矩 有人利用材料的热磁特性，例如调整居里点或利用它们的饱和磁通密度或初始磁导率随沮度 的变化等甸造出磁性踢度传感器.还有，以各种初级磁传感器为基础，利用各种新工艺，例 如混合集成等，制造出例如无触点开关.接近开关，电流，电压，电功率传感器或变送器， 磁头等 “二次产品，，使磁传感器的用途日益扩大，满足了许多产业性应用的盆求.促成了 磁挎感器华产的产0欲 形虎 了栩 当可观的麟按藕翻产 沙_ 表1 主要的磁传感器 名称 工作原理 主要材料 工作范围 主要用途 粗尔元件 妞尔效应 6SSi,InSb,GaM, 无刷电机、徽型开关、 .平面霍尔元件(对垂 InA%hASP,bGa国 I沪 --107 接近开关、高斯计、磁 直于芯片表面的磁场 AlGa GaAs2DEG 性体检洲速度、转该枪 卜橄招J 侧，转炬侧盆，风速计， .垂直吞尔元件(对面 流盆计，电度表，磁性 内磁场敏翔 方向计，电流、电压、 功率传感器，应力、压 力、流筑计 盆尔集成电路 霍尔效应