高准确度大功率激光束质量测量仪研究.pdfVIP

高准确度大功率激光束质量测量仪 王慰平 (中国计量科学研究院，北京100013) 大功率激光对探测器破坏力一直是困挠人们的问题，本文介绍用几对高透过、低热效应、低反 射比片衰减取样，准矶测取lokW极光束模式;用。.Olmm狭缝的束径切割器实现lOkW级光束束 散角直接测量;用反射法测取70kw级光束偏振态。 本文介绍的仪器以直“接、简单、有效”为设计构想的出发点，这也正是计量仪表的难点所在。因 为只有越直接、越简华、越有效，引入的误差项才越少，准确度才越高。 1、大功率激光模式测量仪 本发明是涉及激光模式测量仪器领域。 激光模式是反应激光束辐射强度空问分布状况的参量，对加工效果有直接关系，因为它反映在 垂直光束的平面上X,Y两个方向上的功率(能量)分布状况，激光加工主要考虑横模序数。即 TEMm,n} 现行的模式直接恻量仪限于小功率，对大功率激光束仅能得到粗糙的结果，因为在高功率密度 下常规的测量仪器已不能适用，特别是激光加工中，通常用红外、紫外光源，而探测器能承受的功率 密度都极低，采用的能i衰减方式很易产生模式畸变，大大地影响了测量结果。如目前应用的模式 观测方法有烧斑法、红外摄像法和紫外荧光暗影法、尺条或小孔采样法等。烧班法的缺点是:由于 材料的横向热传导和自嫩的热贡献，使烧取模式图样失真，而且不清晰，此法只能作为粗略的参考; 红外摄像法和紫外荧光暗影法也由于横向热传导造成图像失真，且清晰度降低的缺点，尺条或小孔 采样法不易克服偏振引起的畸变。 本发明的目的是提供一种能承受大功率激光束照射，测量精确度高，能作为测量标准的激光模 式测量仪。 本发明的技术方案是:1)用一至多片高透过(低热效应)低反射比反射片对激光束进行能量衰 减，z)使激光束通过每二片成错位平行或对称角度的反射片，短经过一对反射片反射出来的光束就 经过 了两次衰减，又由于对偶反射片的补偿作用消除了偏振引起的能量分布变异而且因为模式分 布图形的测量是相对测量，只要达到对等衰减就不会影响测量结果，所以上述技术方案是可行的。 高透过反射片(用红外线或紫外透过材料如砷化稼、石英玻璃等材料制成)受光面镀膜，使绝大 部分能量都透过，只有极少数量被反射，镀膜技术使这种反射片近于无热效应低反射比的反射片， 对于透过的激光束被黑色金属材料吸收，由冷却水将热量带走，反射片不会产生热滞留，保证了镜 片热变形很小，不会影响模式图形。另外，镜而背面不抛光，为毛而，使折反射呈漫射光，以免折反 射叠加，破坏模式图形，或背面用光面通过采用模糊技术消除折反射叠加影响。在组装时使用二对 平行角度(或对称)反射厂组成，它们都与光束光程呈450角安装。前面两片镜片与后面两片镜片 沿轴作90,的转位，目的是用对等衰减方法消除偏振可能引起的图形分布变异激光束依次经过反 射片的反射，能量发生了很大衰减,最后反射光束达到探测器测量范围，不会使探测元件饱和，这样 最后的弱反射光斑投影到探测元件光电拙合器上，光电批合器发出探测信号，并引入微机.(也可使 用单个或线阵探测器对反射光束进行面扫描)，就可得到立体模式图，再测出光束的功率或能量值， 513 即可完成功踌’能‘}iC)幅度的空问分布的定量图形，实现了模式的直接准确测量。 本发明P111一为大功率f1a光t1,?-式测量仪结构示意图。 在附图1中(1)为激光束光程,(2),(3)和((4),(5)为与 光程呈450角的高透低热效应反射片。这二组镜片轴向之 问存在90,角的转位，(6i)为光电藕合器,(7)为微机。 一叭代丫长\’呱_ 本发明的实施例结合图作如下说明: 用二对平行高透射低热效应反射片(2),(3)和(4),(5), 它们在轴向上存在90,的转位，人射光束和反射光束在反射 岌瑰琳三